Lasertec已將OPTELICS AI 2商業(yè)化，這是一種新型共聚焦顯微鏡自動(dòng)檢查/檢查系統(tǒng),，集成了高速自動(dòng)缺陷檢查功能,、缺陷映射功能和高倍率形狀檢查功能。

特征

• 從自動(dòng)缺陷檢查到各種材料的半導(dǎo)體晶圓的高倍率檢查和形狀測(cè)量,，一個(gè)單元即可處理所有事務(wù),。活躍于從研發(fā)到量產(chǎn)的各個(gè)階段

• 高速檢測(cè)：亞微米級(jí)靈敏度可在 15 分鐘內(nèi)完成 3 英寸晶圓的全面檢測(cè)

• 高倍率回顧：通過切換物鏡可以進(jìn)行高倍率 3D 形狀測(cè)量

• 通過深度學(xué)習(xí)實(shí)現(xiàn)高精度的圖像分類,?？梢赃M(jìn)行圖案板檢查和特定缺陷類型的檢查

• 即使對(duì)于化合物半導(dǎo)體和薄膜等透明樣品，也可以在不受背反射影響的情況下進(jìn)行檢查,、高倍率檢查和形狀測(cè)量,。

• 由于 Lasertec 提供從硬件到軟件的完整系統(tǒng)，因此可以根據(jù)客戶的要求定制和支持整個(gè)系統(tǒng),。

用法

• 各種材質(zhì)半導(dǎo)體晶圓的高速自動(dòng)缺陷檢測(cè)

• 缺陷審查

• 缺陷形狀測(cè)量

• 每個(gè)制造過程中的缺陷跟蹤