產(chǎn)品描述

探針式輪廓儀 Tencor P-170 是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將行業(yè)的Tencor P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP®-260的機械傳送臂相結(jié)合,。 這樣的組合為機械傳送臂系統(tǒng)提供了極低的擁有成本,，適用于半導(dǎo)體，化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè),。 探針式輪廓儀 Tencor P-170 可以對臺階高度,、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,，其掃描可達200mm而無需圖像拼接,。

該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,，因而具備出色的測量穩(wěn)定性,。通過點擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機等功能,，程序設(shè)置簡便快速,。Tencor P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,，可以支持2D或3D測量,。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量,。

主要功能

• 臺階高度：幾納米至1000μm

• 微力恒力控制：0.03至50mg

• 樣品全直徑掃描,，無需圖像拼接

• 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

• 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

• 軟件：簡單易用的軟件界面

• 生產(chǎn)能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化

• 晶圓機械傳送臂：自動加載75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如藍寶石）樣品

主要應(yīng)用

• 臺階高度：2D和3D臺階高度

• 紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

• 形狀：2D和3D翹曲和形狀

• 應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

• 缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應(yīng)用

• 半導(dǎo)體

• 化合物半導(dǎo)體

• LED：發(fā)光二極管

• MEMS：微機電系統(tǒng)

• 數(shù)據(jù)存儲

• 汽車

• 還有更多：請與我們聯(lián)系以滿足您的要求

臺階高度

Tencor P-170可以提供納米級到1000μm的2D和3D臺階高度的測量,。 這使其能夠量化在蝕刻,，濺射,，SIMS，沉積,，旋涂,，CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。Tencor P-170具有恒力控制功能,，無論臺階高度如何都可以動態(tài)調(diào)整并施加相同的微力,。 這保證了良好的測量穩(wěn)定性并且能夠精確測量諸如光刻膠等軟性材料。

紋理：粗糙度和波紋度

Tencor P-170提供2D和3D紋理測量并量化樣品的粗糙度和波紋度,。軟件濾鏡功能將測量值分為粗糙度和波紋度部分,，并計算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。

外形：翹曲和形狀

Tencor P-170可以測量表面的2D形狀或翹曲,。這包括對晶圓翹曲的測量,，例如半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的多層沉積期間由于層與層的不匹配是導(dǎo)致這種翹曲的原因。Tencor P-170還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。

應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

Tencor P-170能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力,。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程,，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力,。2D應(yīng)力通過在直徑達200mm的樣品上通過單次掃描測量，無需圖像拼接,。3D應(yīng)力的測量采用多個2D掃描,，并結(jié)合θ平臺在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對整個樣品表面進行測量。

缺陷復(fù)檢

缺陷復(fù)查用于測量如劃痕深度之類的缺陷形貌,。 缺陷檢測設(shè)備找出缺陷并將其位置坐標寫入KLARF文件,。 “缺陷復(fù)檢”功能讀取KLARF文件、對準樣本,，并允許用戶選擇缺陷進行2D或3D測量,。