中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微鏡擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)，所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡,。它是以共聚焦技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器,。

產(chǎn)品功能

1) 設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測(cè)量功能,；

2)一體化操作的測(cè)量與分析軟件，操作無(wú)須進(jìn)行切換界面,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能,。

3)提供調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,。其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能,；糾正包括空間濾波,、修描、尖峰去噪等功能,；濾波包括去除外形,、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過(guò)濾頻譜等功能,；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能,。

4) 提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。其中粗糙度分析包括依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度,、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能,；幾何輪廓分析包括臺(tái)階高,、距離、角度,、曲率等特征測(cè)量和直線度,、圓度形位公差評(píng)定等功能；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等,；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能,；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能,。

5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設(shè)置分析模板,，結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能,，可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

技術(shù)指標(biāo)

型號(hào)：VT6100

行程范圍：100*100*100mm

視場(chǎng)范圍：120×120 μm~1.2×1.2 mm

高度測(cè)量重復(fù)性(1σ)：12nm

高度測(cè)量精度：± (0.2+L/100) μm

高度測(cè)量分辨率：0.5nm

寬度測(cè)量重復(fù)性(1σ)：40nm

寬度測(cè)量精度：± 2%

寬度測(cè)量分辨率：1nm

外形尺寸：520×380×600mm

儀器重量：50kg

高精度,、高重復(fù)性

1）以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng),，保證儀器的搞測(cè)量精度,；

2）儀器的隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲，在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測(cè)量重復(fù)性,。

共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,?？蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度、波紋度,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。