VT6100 共聚焦顯微鏡
參考價(jià) | ¥ 980000 |
訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱 深圳市中圖儀器股份有限公司
- 品牌 CHOTEST/中圖儀器
- 型號(hào) VT6100
- 產(chǎn)地 學(xué)苑大道1001號(hào)南山智園B1棟2樓、5樓
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/5/12 20:37:13
- 訪問(wèn)次數(shù) 1993
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三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),,影像儀,閃測(cè)儀,,一鍵式測(cè)量?jī)x,,激光干涉儀,白光干涉儀,,光學(xué)輪廓儀,,激光跟蹤儀
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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儀器種類 | 超高速激光共聚焦顯微成像系統(tǒng) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,交通,航天,汽車,綜合 |
中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微鏡擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè),所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡,。它是以共聚焦技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器,。
產(chǎn)品功能
1) 設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測(cè)量功能,;
2)一體化操作的測(cè)量與分析軟件,操作無(wú)須進(jìn)行切換界面,,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能,。
3)提供調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,。其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能,;糾正包括空間濾波,、修描、尖峰去噪等功能,;濾波包括去除外形,、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過(guò)濾頻譜等功能,;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能,。
4) 提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。其中粗糙度分析包括依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度,、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能,;幾何輪廓分析包括臺(tái)階高,、距離、角度,、曲率等特征測(cè)量和直線度,、圓度形位公差評(píng)定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等,;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能,;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能,。
5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設(shè)置分析模板,,結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能,,可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
技術(shù)指標(biāo)
型號(hào):VT6100
行程范圍:100*100*100mm
視場(chǎng)范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測(cè)量重復(fù)性(1σ):12nm
高度測(cè)量精度:± (0.2+L/100) μm
高度測(cè)量分辨率:0.5nm
寬度測(cè)量重復(fù)性(1σ):40nm
寬度測(cè)量精度:± 2%
寬度測(cè)量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
儀器重量:50kg
高精度,、高重復(fù)性
1)以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),,結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,共同組成測(cè)量系統(tǒng),,保證儀器的搞測(cè)量精度,;
2)儀器的隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲,在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,,具有良好的測(cè)量重復(fù)性,。
共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,??蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。
應(yīng)用領(lǐng)域
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度、波紋度,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。