VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀
- 公司名稱 上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 深圳科晶
- 型號(hào) VTC-16-3HD
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/3/13 12:44:57
- 訪問(wèn)次數(shù) 3122
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紫外可見分光光度計(jì),,原子熒光光度計(jì),,原子吸收分光光度計(jì),紫外分光光度計(jì),,氣相色譜儀,,液相色譜儀,電子天平,,旋光儀,,熔點(diǎn)儀
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,電子/電池,電氣,綜合 |
VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為?50mm,,加熱溫度達(dá)500℃,。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀,、銅三種靶材,,不可以濺射輕金屬和碳。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái),,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,,適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對(duì)設(shè)備進(jìn)行控制,,操作方便直觀,。該機(jī)設(shè)備小巧,占用實(shí)驗(yàn)室空間少,,操作簡(jiǎn)單,,應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中,。
1,、PLC控制面板,4.3″觸摸屏,,PID控溫方式,。
2、可控參數(shù)包括真空度、電流,、靶材位置,、基片加熱溫度。
3,、可與真空泵,、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。
4,、已通過(guò)CE認(rèn)證,。
產(chǎn)品名稱 | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-16-3HD | |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,,濕度55%Rh±10%Rh下使用,。 1、水:不需要 2,、電:AC220V 50Hz,,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),,需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) 4,、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上 5,、通風(fēng)裝置:不需要 | |
主要參數(shù) | 1,、輸入功率:110V/220V通用 2000W(含真空泵) 2、輸出功率:1600VDC 50mA(最大電流) 3,、石英罩:?160mm×120mm 4,、樣品臺(tái):?50mm(可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái),最高溫度可到500℃,;最長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5min) 5,、真空泵:120L/M旋片式真空泵6、進(jìn)氣口:裝有精密可調(diào)針閥,,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 7,、靶材:尺寸直徑?47mm,厚度0.1mm-3mm,;可濺射Au,、Ag、Pt,、Cr,、Ni, 不可濺射氧化物,、半導(dǎo)體,、一些輕金屬、Al、Zn,、C等 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:360mm×350mm×3600mm,; | |
可選配件 | 1、KF25真空接口,、卡箍 2,、不銹鋼波紋管(600mm) 3、旋片式真空泵(120L/M) 4,、鉑,、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5,、加熱型樣品臺(tái) |