D-300 臺階儀
- 公司名稱 北京中海遠創(chuàng)材料科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2022/5/11 16:31:55
- 訪問次數(shù) 428
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 20萬-30萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,冶金,航天,汽車,電氣 |
Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度,、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量,。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能,。
D-300 臺階儀
探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,,與材料特性無關(guān)??烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行測量,。通過測量粗糙度和應(yīng)力,可以對工藝進行量化,,確定添加或去除的材料量,,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
二,、 功能
設(shè)備特點
臺階高度:幾納米至1000μm
低觸力:0.5至15mg
視頻:500萬像素率彩色攝像頭
梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差
緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀
主要應(yīng)用
臺階高度:2D臺階高度
紋理:2D粗糙度和波紋度
形式:2D翹曲和形狀
應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力
應(yīng)用域
半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
SIMS:二次離子質(zhì)譜
LED:發(fā)光二管
太陽能
MEMS:微電子機械系統(tǒng)
汽車
醫(yī)療設(shè)備
三,、應(yīng)用案例
臺階高度
Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1000μm的2D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻,、濺射,、SIMS、沉積,、旋涂,、CMP 和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能,,可以測量如光刻膠的軟性材料,。
紋理:粗糙度和波紋度
Alpha-Step D-300 測量 2D 紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度,。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。
外形:翹曲和形狀
Alpha-Step D-300 可以測量表面的2D形狀或翹曲,。 這包括對晶圓翹曲的測量,,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因,。Alpha-Step 還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。
應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力
Alpha-Step D-300 能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力,。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程,,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力,。
D-300 臺階儀