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D-300 臺階儀

具體成交價以合同協(xié)議為準

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北京中海遠創(chuàng)材料科技有限公司,,專業(yè)負責(zé)KLA(科磊半導(dǎo)體)微納米力學(xué)測試系統(tǒng)(納米壓痕儀,、SEM原位壓痕儀,、拉伸儀等)、探針式臺階儀,、形貌儀,、三維光學(xué)輪廓儀等設(shè)備技術(shù)的銷售和技術(shù)應(yīng)用服務(wù)工作。

KLA公司是世界工藝控管與良率管理解決方案的提供商,,與世界各地的客戶合作開發(fā)*的檢測和量測技術(shù),,并且將這些技術(shù)致力于*材料、物理,、微器件,、半導(dǎo)體、LED 及其他相關(guān)微納研究和生產(chǎn)領(lǐng)域,。憑借行業(yè)標準的產(chǎn)品組合和優(yōu)秀的工程師及科學(xué)家團隊,,近 40 年來公司持續(xù)為客戶打造滿意的解決方案。

北京中海遠創(chuàng)材料科技有限公司是KLA微納米力學(xué)測試系統(tǒng),、SEM/FIB原位納米力學(xué)測試系統(tǒng),、探針式臺階儀、三維光學(xué)輪廓儀等設(shè)備的渠道商,,服務(wù)范圍遍及全國各地,。微納力學(xué)測試系統(tǒng)包括業(yè)內(nèi)聲譽很高應(yīng)用很廣泛的G200、iMicro,、iNano型納米壓痕儀,,T150型納米拉伸儀,以及常溫和高溫原位納米壓痕儀等等,。KLA公司新研發(fā)的G200X型納米壓痕儀在G200型的基礎(chǔ)上又增加了一些新功能,,使設(shè)備的性價比又提高了一個新臺階。輪廓儀系統(tǒng)包括*的Zeta系列,,P系列,、D系列等產(chǎn)品。

我公司擁有一支專業(yè)誠信的技術(shù),、銷售,、管理團隊,有著豐富的從業(yè)經(jīng)驗,,自公司創(chuàng)立以來,,在科研、生產(chǎn)等多個領(lǐng)域為客戶提供了有競爭力的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù),。

我們始終秉承服務(wù)至上的宗旨,,依托專業(yè)化的團隊、全國性的營銷網(wǎng)絡(luò)和有影響力的品牌,,在不斷優(yōu)化服務(wù)質(zhì)量,、擴大市場輻射范圍的同時,,為客戶提供更全面的服務(wù)。


納米壓痕儀,,臺階儀,,輪廓儀,探針臺,,高速相機

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 20萬-30萬
應(yīng)用領(lǐng)域 電子,冶金,航天,汽車,電氣

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度,、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量,。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能,。

D-300 臺階儀

   探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,,與材料特性無關(guān)??烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行測量,。通過測量粗糙度和應(yīng)力,可以對工藝進行量化,,確定添加或去除的材料量,,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。





   二,、 功能

   設(shè)備特點

  • 臺階高度:幾納米至1000μm

  • 低觸力:0.5至15mg

  • 視頻:500萬像素率彩色攝像頭

  • 梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

  • 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

  • 緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀


   主要應(yīng)用

  • 臺階高度:2D臺階高度

  • 紋理:2D粗糙度和波紋度

  • 形式:2D翹曲和形狀

  • 應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

   應(yīng)用域


  • 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

  • SIMS:二次離子質(zhì)譜

  • LED:發(fā)光二管

  • 太陽能

  • MEMS:微電子機械系統(tǒng)

  • 汽車

  • 醫(yī)療設(shè)備



   三,、應(yīng)用案例

   臺階高度

  Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1000μm的2D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻,、濺射,、SIMS、沉積,、旋涂,、CMP 和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能,,可以測量如光刻膠的軟性材料,。


   


   紋理:粗糙度和波紋度

  Alpha-Step D-300 測量 2D 紋理,量化樣品的粗糙度和波紋度,。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。




   外形:翹曲和形狀

   Alpha-Step D-300 可以測量表面的2D形狀或翹曲,。 這包括對晶圓翹曲的測量,,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因,。Alpha-Step 還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。




   應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

  Alpha-Step D-300 能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力,。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程,,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力,。



D-300 臺階儀



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