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Alpha-Step D-600 D系列探針式臺階儀

具體成交價以合同協(xié)議為準

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,,謝謝!


北京中海遠創(chuàng)材料科技有限公司,,專業(yè)負責KLA(科磊半導體)微納米力學測試系統(tǒng)(納米壓痕儀、SEM原位壓痕儀,、拉伸儀等),、探針式臺階儀、形貌儀,、三維光學輪廓儀等設備技術的銷售和技術應用服務工作。

KLA公司是世界工藝控管與良率管理解決方案的提供商,,與世界各地的客戶合作開發(fā)*的檢測和量測技術,,并且將這些技術致力于*材料、物理,、微器件,、半導體、LED 及其他相關微納研究和生產領域,。憑借行業(yè)標準的產品組合和優(yōu)秀的工程師及科學家團隊,,近 40 年來公司持續(xù)為客戶打造滿意的解決方案。

北京中海遠創(chuàng)材料科技有限公司是KLA微納米力學測試系統(tǒng),、SEM/FIB原位納米力學測試系統(tǒng),、探針式臺階儀、三維光學輪廓儀等設備的渠道商,,服務范圍遍及全國各地,。微納力學測試系統(tǒng)包括業(yè)內聲譽很高應用很廣泛的G200、iMicro,、iNano型納米壓痕儀,,T150型納米拉伸儀,以及常溫和高溫原位納米壓痕儀等等,。KLA公司新研發(fā)的G200X型納米壓痕儀在G200型的基礎上又增加了一些新功能,,使設備的性價比又提高了一個新臺階。輪廓儀系統(tǒng)包括*的Zeta系列,,P系列,、D系列等產品。

我公司擁有一支專業(yè)誠信的技術,、銷售,、管理團隊,,有著豐富的從業(yè)經驗,自公司創(chuàng)立以來,,在科研,、生產等多個領域為客戶提供了有競爭力的產品和技術服務。

我們始終秉承服務至上的宗旨,,依托專業(yè)化的團隊,、全國性的營銷網絡和有影響力的品牌,在不斷優(yōu)化服務質量,、擴大市場輻射范圍的同時,,為客戶提供更全面的服務。


納米壓痕儀,,臺階儀,,輪廓儀,探針臺,,高速相機

產地類別 進口 價格區(qū)間 20萬-30萬
應用領域 建材,電子,航天,汽車,電氣

KLAD系列探針式臺階儀Alpha-Step D-600,,可測量納米至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度,、波紋度,、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃的分辨率,。

   二,、 功能

  設備特點

   臺階高度:幾納米至1200μm

   低觸力:0.03至15mg

   視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭

   梯形失真校正:消除側視光學系統(tǒng)引起的失真

   圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

   緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀

   軟件:用戶友好的軟件界面

   主要應用

   臺階高度:2D臺階高度和3D臺階高度

   紋理:2D粗糙度和波紋度

   形式:2D翹曲和形狀

   應力:2D薄膜應力

    應用域

   大學,研究實驗室和研究所

   半導體和復合半導體

   SIMS:二次離子質譜

   LED:發(fā)光二管

   太陽能

   MEMS:微電子機械系統(tǒng)

   汽車

   醫(yī)療設備

   三,、應用

   臺階高度

  Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1200μm的2D和3D臺階高度,。 這使其可以量化在蝕刻、濺射,、SIMS,、沉積、旋涂,、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料,。Alpha-Step 系列具有低觸力功能,可以測量如光刻膠的軟性材料,。

   

   紋理:粗糙度和波紋度

   D系列探針式臺階儀Alpha-Step D-600測量2D和3D紋理,,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù),。

   

   外形:翹曲和形狀

  Alpha-Step D-600可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,,例如在半導體或化合物半導體器件生產過程中,,多層沉積層結構中層間不匹配是導致這類翹曲產生的原因,。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內的結構高度和曲率半徑。


 







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