中國臺灣菘啟工業(yè)有限公司設(shè)計和制造溫度測量解決方案,，保證為您提供靈敏度,、快速響應(yīng)和一致的精度。并及時提供其創(chuàng)新的Tcwafer熱電偶傳感器解決方案,。

    Tcwafer熱電偶傳感器則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布,；同時，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化,，例如：升溫,，降溫過程及延遲周期等！（溫度的均勻與否,，良率）

溫度范圍：

低溫：-150 to 700°C（硅基膠粘劑）

高度：-150 to 1,200°C（焊接設(shè)計）

熱電偶選型：

● Type K (精度級別±1.1°C or 0.4%) ,，溫度范圍 -270 to 1,372°C

● Type N (

精度級別±1.1°C or 0.4%)， 溫度范圍 -270 to 1,300°C

● Type E (

精度級別±1.0°C or 0.4%) ,，溫度范圍 -270 to 1,000°C

● Type T (

精度級別±0.5°C or 0.4%) ,，溫度范圍 -270 to 400°C

● Type R/S (

精度級別±1.5°C or 0.25%) ，溫度范圍 -50 to 1,768°C

晶圓材質(zhì)：

硅、AlTiC,、玻璃,、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的,、涂層的或圖案基底,。可按客戶要求定制基板,、形狀和尺寸,。

主要規(guī)格：

4寸，6寸,，8寸,，12寸

擴展線：可選絕緣層材質(zhì)，接頭類型,。密封的扁平電纜,，可在大氣中打到10-7托。長度由客戶選

傳感器引線：長達40英尺–可定制,

被覆材質(zhì)：石英 陶瓷纖維 TEF

絕緣材料：石英,，聚四氟乙烯,，二氧化硅，陶瓷,，聚酰*胺

線規(guī)：20 AWG – 40 AWG

a）主要型號有k/t/r(根據(jù)測溫范圍以及精度要求選型)

k型適合：0°c -600°c,，精度級別為±1.1°c or ±0.4%

t型適合：200°c以下，精度級別為±0.5°c or ±0.4%

r型適合：0°c-1100°c,，精度級別為0.1%

b)產(chǎn)品主要規(guī)格有：2寸/4寸/6寸/8寸/12寸

c)溫接點可生產(chǎn)1~24點（但硅片越小測溫點盡量減少,，因為焊點需要打孔存在應(yīng)力，另外需要排線,，測溫點越多難度越高）

d)使用環(huán)境為普通或者真空環(huán)境

e）晶圓材質(zhì)：硅片或藍寶石襯底片