中國臺(tái)灣菘啟工業(yè)有限公司設(shè)計(jì)和制造溫度測(cè)量解決方案,，保為您提供靈敏度、快速響應(yīng)和一致的精度,。并及時(shí)提供其**的TcWafer熱電偶晶圓解決方案,。

   TcWafer熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量,。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器,，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整天晶圓溫度分布；同時(shí),，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化,，例如：升溫，降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否,，良率）

溫度范圍：

低溫：-150 to 700°C（硅基膠粘劑）

高度：-150 to 1,200°C（焊接設(shè)計(jì)）

熱電偶選型：

● Type K (精度級(jí)別±1.1°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,372°C

● Type N (精度級(jí)別±1.1°C or 0.4%),， 溫度范圍 -270 to 1,300°C

● Type E (精度級(jí)別±1.0°C or 0.4%) ,，溫度范圍 -270 to 1,000°C

● Type T (精度級(jí)別±0.5°C or 0.4%) ,，溫度范圍 -270 to 400°C

● Type R/S (精度級(jí)別±1.5°C or 0.25%) ，溫度范圍 -50 to 1,768°C

晶圓材質(zhì)：

硅,、AlTiC,、玻璃、陶瓷,、碳化硅和其他客戶提供的白板的,、涂層的或圖案基底?？砂纯蛻粢蠖ㄖ苹?、形狀和尺寸。

主要規(guī)格：

4寸,，6寸,，8寸，12寸

擴(kuò)展線：可選絕緣層材質(zhì),，接頭類型,。密封的扁平電纜，可在大氣中打到10-7托,。長度由客戶選

傳感器引線：長達(dá)40英尺–可定制,

被覆材質(zhì)：石英 陶瓷纖維 TEF

絕緣材料：石英,，聚四乙烯，二氧化硅,，陶瓷,，聚酰*胺

線規(guī)：20 AWG – 40 AWG