中國臺灣菘啟工業(yè)有限公司設(shè)計和制造溫度測量解決方案,，保證為您提供靈敏度,、快速響應(yīng)和一致的精度。中國臺灣菘啟工業(yè)有限工公司致力于以世界的技術(shù)服務(wù)及時提供其創(chuàng)新的晶圓測試儀熱電偶解決方案,。

    晶圓測試儀熱電偶TC WAFER則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器,，可以實現(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布,；同時,，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫,，降溫過程及延遲周期等?。囟鹊木鶆蚺c否，良率）

溫度范圍：

低溫：-150 to 700°C（硅基膠粘劑）

高度：-150 to 1,200°C（焊接設(shè)計）

熱電偶選型：

● Type K (精度級別±1.1°C or 0.4%) ,，溫度范圍 -270 to 1,372°C
● Type N (精度級別±1.1°C or 0.4%),， 溫度范圍 -270 to 1,300°C
● Type E (精度級別±1.0°C or 0.4%) ，溫度范圍 -270 to 1,000°C
● Type T (精度級別±0.5°C or 0.4%) ,，溫度范圍 -270 to 400°C
● Type R/S (精度級別±1.5°C or 0.25%) ,，溫度范圍 -50 to 1,768°C

晶圓材質(zhì)：

硅、AlTiC,、玻璃,、陶瓷、碳化硅和其他客戶提供的白板的,、涂層的或圖案基底,。可按客戶要求定制基板,、形狀和尺寸,。

主要規(guī)格：

4寸,，6寸,，8寸，12寸

擴(kuò)展線：可定制絕緣層材質(zhì),，接頭類型,。密封的聚酰亞胺扁平電纜，可在大氣中打到10-7托,。長度有客戶定制

傳感器引線：長達(dá)40英尺–可定制,

被覆材質(zhì)：石英 陶瓷纖維 TEF

絕緣材料：石英,，聚四氟乙烯，二氧化硅,，陶瓷,，聚酰亞胺

線規(guī)：20 AWG – 40 AWG