離子污染度測試儀系統(tǒng)
- 公司名稱 武漢賽斯特精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 武漢市江岸區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2021/6/22 15:37:07
- 訪問次數(shù) 558
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實驗室檢測儀器，測試儀器設(shè)備等
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子 |
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離子污染度測試儀系統(tǒng)
▲總述
本設(shè)備為兩室真空系統(tǒng),。其中一室為進(jìn)樣取樣室,，另一室為刻蝕室。進(jìn)樣取樣室與刻蝕室之間裝有真空鎖,，進(jìn)樣取樣采用機械手運送,。
本設(shè)備主要由真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng),、電氣系統(tǒng),、控制系統(tǒng)，冷卻系統(tǒng),、送取片機構(gòu),、報警系統(tǒng)等組成,。
▲真空系統(tǒng)
本系統(tǒng)由一個抽速600升/秒分子泵+抽速9升/秒真空泵組成抽氣系統(tǒng), 將刻蝕室抽至高真空, 分子泵與刻蝕室之間裝有壓力調(diào)節(jié)閥電插板閥, 機械泵為刻蝕室予抽泵及分子泵前級泵。用另一個抽速9升/秒機械泵將進(jìn)取樣室抽至真空狀態(tài),。 機械泵與真空室之間及與分子泵之間均采用不銹鋼波紋管連接, 并裝有電磁氣動隔斷閥,。
▲恒壓控制系統(tǒng)
本設(shè)備配有下游恒壓控制系統(tǒng)，在抽氣管路裝有一電動可調(diào)節(jié)閥,，通過薄膜規(guī)測量（進(jìn)口件）,，可調(diào)節(jié)閥控制，使真空室達(dá)到恒壓,從而提高工藝穩(wěn)定性,。
▲射頻電源系統(tǒng)
采用射頻電源兩套,，帶自動動匹配。
▲氣路系統(tǒng)
由4個質(zhì)量流量控制器控制4路氣體進(jìn)氣,。氣體管路均采用1/4英寸不銹鋼硬管,，管路接頭連接形式采用雙卡套連接。質(zhì)量流量控制器采用美國技術(shù),氣路閥門,、管路等采用進(jìn)口件,。
▲控制系統(tǒng)
采用工控機及PLC控制，通過觸摸屏設(shè)置參數(shù)及顯示測量值,、狀態(tài)等,，實現(xiàn)真空系統(tǒng)及工藝過程自動化。本機可選擇全自動及非全自動模式,。
▲報警系統(tǒng)：設(shè)備所需安全要求,。
二. 主要技術(shù)指標(biāo)
1. 極限真空: 刻蝕室9.0×10-5 Pa (室內(nèi)濕度≤55%)
進(jìn)樣取樣室6.0×10-1 Pa
2. 刻蝕材料: Poly-Si、Si,、SiO2,、Si3N4、深刻硅等
3. 刻蝕速率: 0.01~ 2μ/min
4. 刻蝕均勻性: ≤±5％(φ125mm范圍內(nèi)),；
5. 電極尺寸: φ200mm
三．設(shè)備基本配置
1. 真空泵源: 抽速600升/秒分子泵一臺
抽速9升/秒機械泵二臺
2. 射頻功率源: RF 500W射頻電源及自動匹配器一套
RF 1000W射頻電源及自動匹配器一套
3. 氣路系統(tǒng): 4臺質(zhì)量流量計控制四路進(jìn)氣（七星華創(chuàng)）
(管件閥門：進(jìn)口)
4. 真空測量： 復(fù)合真空計一臺
5．恒壓系統(tǒng)： 薄膜規(guī)一個(進(jìn)口)
可調(diào)節(jié)閥一套
6. 自動控制系統(tǒng)一套（含工控機,，PLC控制器，17〞觸摸顯示屏,、 驅(qū)動電路等）
離子污染度測試儀系統(tǒng)
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