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晶圓薄膜應(yīng)力測(cè)試儀
- 公司名稱(chēng) 武漢賽斯特精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2021/6/22 15:34:34
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 671
晶圓薄膜應(yīng)力測(cè)試儀薄膜應(yīng)力測(cè)試儀供應(yīng)薄膜應(yīng)力測(cè)試儀價(jià)格
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 |
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晶圓薄膜應(yīng)力測(cè)試儀
主要特點(diǎn):
l 快速,、非接觸式測(cè)量;
l 樣品臺(tái)可通用于3至8寸晶圓,,128L型號(hào)適用于12寸晶圓,,128G 型號(hào)適用于470 X 370mm樣品,另可按要求訂做,;
l 利雙激光自動(dòng)轉(zhuǎn)換技術(shù):如某一波長(zhǎng)激光在樣本反射度不足,,系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)使用另一波長(zhǎng)激光進(jìn)行掃瞄,,滿(mǎn)足不同材料的應(yīng)用;
l 全自動(dòng)平臺(tái),,可以進(jìn)行2D及3D掃瞄(可選),;
l 可加入更多功能滿(mǎn)足研發(fā)的需求:電介質(zhì)厚度測(cè)量,光致發(fā)光激振光譜分析(III-V族的缺陷研究);
l 500 及 900°C高溫型號(hào)可選,;
l 樣品上有圖案亦適用,;
l 薄膜應(yīng)力范圍: 1 MPa — 1.4 GPa,。
晶圓薄膜應(yīng)力測(cè)試儀
室溫系統(tǒng) | FSM 128 | 大樣品直徑200mm |
FSM 128L | 大樣品直徑300mm | |
FSM 128G | 大樣品550×650mm | |
變溫系 | FSM 500TC | 電阻加熱工作臺(tái):溫度可控,高500℃ |
FSM 900TC-vac | RTP型腔室:溫度可控,,高900℃(可選1100℃),;真空達(dá)到 1E-6 Torr |
武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專(zhuān)業(yè)研發(fā),以力學(xué)試驗(yàn)機(jī)儀器為主,,同時(shí)銷(xiāo)售各種、中低端分析儀器?,F(xiàn)有員工60多人,,公司成功開(kāi)發(fā)了PCI放大采集卡和中文版試驗(yàn)軟件,并采用全數(shù)字化,,操作簡(jiǎn)捷,,*符合GB,、ISO、JIS,、ASTM,、DIN等標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的要求,,公司亦通過(guò)了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證和國(guó)家計(jì)量體系認(rèn)證,榮獲了“武漢市第九界消費(fèi)者滿(mǎn)意單位”的稱(chēng)號(hào),。
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