探針式表面輪廓儀介紹：

布魯克 DektakXT 臺階儀是一項創(chuàng)新性的設計,，可以提供更高的重復性和分辨率,，測量重復性可以達到5?。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak技術創(chuàng)新的,，更加鞏固了其行業(yè)地位,。不論應用于研發(fā)還是產(chǎn)品測量，通過在研究工作中的廣泛使用,，DektakXT一定能夠做到功能更強大,，操作更簡易，檢測過程和數(shù)據(jù)采集更完善,。第十代DektakXT臺階儀的技術突破,，使納米尺度的表面輪廓測量成為可能,，從而可以廣泛的應用于微電子器件，半導體,，電池,，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學領域。

探針系統(tǒng)的評價體系受三個因素影響：能否重復測量,，數(shù)據(jù)采集和分析速度快慢,，操作的難易程度。這些因素直接影響了數(shù)據(jù)的質(zhì)量和操作效率,。DektakXT利用全新結(jié)構和和軟件來實現(xiàn)可重復,、時間短、易操作這三個必要因素,，達到的儀器使用效果,。

強化操作的可重復性 Delivering Repeatable Measurements，DektakXT在設計上的幾個提高,，使其在測量臺階高度重復性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn),，臺階高度重復性可以到達5?.使用single-arch結(jié)構比原先的懸臂梁設計更堅硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,。同時,，Bruker還對儀器的智能化電子器件進行完善，提高其穩(wěn)定性,，降低溫度變化對它的影響,，并采用先進的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用這些靈敏的電子元器件,會把可能引起誤差的噪音降到,，DektakXT的系統(tǒng)因此可以更穩(wěn)定可靠的實現(xiàn)對高度小于10nm的臺階的掃描,。Single-arch結(jié)構和智能器件的聯(lián)用，大大降低了掃描臺的噪音,，增強了穩(wěn)定性,，使其成為一個競爭力的臺階儀（表面輪廓儀）。

提高數(shù)據(jù)采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis,，利用*的直接掃描平臺,，DektakXT通過減少從得到原始數(shù)據(jù)到扣除背底噪音所需要的時間，來提高掃描效率,。這一改進,，大大提高了大范圍掃描3D形貌或者對于表面應力長程掃描的掃描速度。在保證質(zhì)量和重復性的前提下,，可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%,。另外，DektakXT采用Bruker 64-Bit數(shù)據(jù)采集分析同步操作系統(tǒng)Vision64，它可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度,，并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描時的數(shù)據(jù)分析處理效率,。Vision64還具有效直觀的用戶界面，簡化了實驗操作設置,，可以自動完成多掃描模式,，使很多枯燥繁復的實驗操作變得更快速簡潔。

完善的操作和分析系統(tǒng) PerfectingOperationand Analysis與DektakXT的創(chuàng)新性設計相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析軟件,。Vision64提供了操作上簡潔的用戶界面,，具備智能結(jié)構，可視化的使用流程,，以及各種參數(shù)的自助設定以滿足用戶的各種使用要求,，快速簡便的實現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。

探針式表面輪廓儀技術參數(shù)：

—臺階高度重復性5?

—Single-arch設計大大提高了掃描穩(wěn)定性

—前置敏化器件,，降低了噪音對測量的干擾

—新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力提高了40%

—64-bit,，這一Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件，使數(shù)據(jù)分析速度提高了十倍,，功能,，操作簡易

—直觀的Vision64用戶界面操作流程簡便易行

—針尖自動校準系統(tǒng)讓用戶更換針尖不再是難事，臺階儀（表面輪廓儀）領域無可撼動的地位

—布魯克的臺階儀,，體積輕巧,，功能強大

—單傳感器設計提供了單一平面上低作用力和寬掃描范圍