探針式表面輪廓儀

布魯克探針式表面輪廓儀（又稱“臺階儀”）歷今四十載，積累大量專有技術(shù),。從傳統(tǒng)的二維表面粗糙度和臺階高度測量,，到更高級的三維表面成像和薄膜應(yīng)力測試，Dektak臺階儀適用面極廣,，為用戶提供準確性高,，重復性佳的測量結(jié)果。

在教育,、科研領(lǐng)域和半導體制程控制,，Dektak廣泛用于膜厚,、應(yīng)力,、表面粗糙度和面形的測量,。近幾年，Dektak系統(tǒng)已經(jīng)成為發(fā)展的太陽能電池市場越的測試工具,，也被許多主要的光伏太陽能電池制造商所認可,。

DektakXT

桌面型探針式表面輪廓儀

布魯克DektakXT®臺階儀設(shè)計創(chuàng)新,，實現(xiàn)了更高的重復性和分辨率,，垂直高度重復性高達4埃,。這項測量性能的提高,，達到了過去四十年Dektak®體系技術(shù)創(chuàng)新的，更加穩(wěn)固了其行業(yè)中的地位,。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測量,，在研究工作中的廣泛使用是的DektakXT地功能更強大,，操作更簡便易行,，檢測過程和數(shù)據(jù)采集也更加完善,。技術(shù)的突破也實現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測量,，從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件，半導體,，電池，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學領(lǐng)域,。

探針式輪廓儀的黃金標準

DektakXT®探針式輪廓儀革命性的突破設(shè)計創(chuàng)新,，實現(xiàn)了垂直高度重復性高達4埃，數(shù)據(jù)采集能力提高了40%,。這一里程碑的創(chuàng)新和突破,，使得DektakXT實現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測量,，從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件，半導體,，電池,，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學領(lǐng)域。

技術(shù)創(chuàng)新四十余載,，不斷突破用攀高峰

Dektak品牌是*基于微處理器控制的輪廓儀，*實現(xiàn)微米測量的臺階儀,，*可以達到3D測量的儀器，*個人電腦控制的輪廓儀,，*全自動300mm臺階儀?，F(xiàn)在，全新的DektakXT延續(xù)了這種開創(chuàng)性的風格,，成為一臺采用具有具有單拱龍門式設(shè)計,，配備HD攝像機,，并且利用64位同步數(shù)據(jù)處理模式完成測量和操作效率的臺階儀,。

提高測量和數(shù)據(jù)分析速度

*采用*高速的直接驅(qū)動掃描樣品臺，DektakXT在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下，大大縮短了每次掃描的間隔時間，將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外,，DektakXT采用布魯克具有64位數(shù)據(jù)采集同步分析的Vision64,，可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度，并且可以加快數(shù)據(jù)濾波和多次掃描數(shù)據(jù)庫分析的速度,。

提高操作的可重復性

使用單拱龍門結(jié)構(gòu)設(shè)計更堅硬持久不易彎曲損壞,，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。DektakXT會把系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測量誤差降到,，能夠更穩(wěn)定可靠的掃描高度小于10nm的臺階,，獲得其形貌特征。

完善的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

與DektakXT的創(chuàng)新性設(shè)計相得益彰的配置是布魯克Vision64操作分析軟件,。Vision64提供了操作上簡潔的用戶界面,，具備智能板塊，可視化的使用流程,，以及各種參數(shù)的自助設(shè)定以滿足用戶的各種使用要求,，快速簡便的實現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。

簡便易行的實驗操作系統(tǒng)

DektakXT新穎的探針的部件自動對準裝置,，可以盡量避免用戶在裝針的過程中出現(xiàn)針尖損傷等意外,。為盡可能滿足所有應(yīng)用的需求,，布魯克提供各種尺寸的標準探針和特制探針。

高效率的保證

DektakXT的測量重復性為工程師們提供準確的薄膜厚度和應(yīng)力測量,，使其可以調(diào)節(jié)刻蝕和鍍膜工藝來提高產(chǎn)品的優(yōu)良率,。

DektakXT儀器特性

的性能和優(yōu)于4埃（<4 Å）的測量重復性

· 單拱龍門式設(shè)計實現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性

· 先進的”智能化電子器件”實現(xiàn)了低噪聲的新*

高效率且易于使用

· 直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程

· *的傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和較大的力測量

· 自對準的探針設(shè)計使用戶可以輕而易舉地更換探針