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EVG-560 EVG晶圓鍵合自動系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,,下面簡稱岱美)成立于1989年,,是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲,、半導(dǎo)體,、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備,、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù),、解決方案廣泛地運用于中國香港,,中國大陸(上海,、東莞、北京),,中國臺灣,,泰國,,菲律賓,馬來西亞,,越南及新加坡等地區(qū),。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機、納米壓印設(shè)備,、紫外光刻機,、涂膠顯影機、硅片清洗機,、超薄晶圓處理設(shè)備,、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測,、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀,、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng),、應(yīng)力檢測儀,、電容式位移傳感器、定心儀等,。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,,請聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,,實現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機構(gòu)長期發(fā)展的目標(biāo),。




膜厚儀,輪廓儀,,EVG鍵合機,,EVG光刻機,HERZ隔震臺,,Microsense電容式位移傳感器

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子,交通,航天,汽車,綜合

EVG晶圓鍵合自動系統(tǒng) EVG560應(yīng)用:全自動晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機),,用于大批量生產(chǎn)。

一,、簡介

EVG560自動化晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機)可容納四個鍵合室,,并具有各種鍵合室配置選項,適用于所有鍵合工藝和大300 mm的晶圓,。EVG560鍵合機基于相同的鍵合室設(shè)計,,并結(jié)合了EVG手動鍵合系統(tǒng)的主要功能以及增強的過程控制和自動化功能,可提供高產(chǎn)量的生產(chǎn)鍵合,。機器人處理系統(tǒng)會自動加載和卸載處理室,。

二、EVG晶圓鍵合自動系統(tǒng)特征

全自動處理,,可自動裝卸鍵合卡盤
多達四個鍵合室,,用于各種鍵合工藝
與包括SmartView的EVG機械和光學(xué)對準(zhǔn)器兼容
同時在頂部和底部快速加熱和冷卻
自動加載和卸載鍵合室和冷卻站
遠程在線診斷
三,、技術(shù)數(shù)據(jù)

大加熱器尺寸:150、200,、300毫米
裝載室使用5軸機器人
(晶圓鍵合機)多的鍵合模塊:4個





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