EVG-560 EVG晶圓鍵合自動系統(tǒng)
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 EVG
- 型號 EVG-560
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/11/9 12:56:19
- 訪問次數(shù) 5375
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,航天,汽車,綜合 |
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EVG晶圓鍵合自動系統(tǒng) EVG560應(yīng)用:全自動晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機),,用于大批量生產(chǎn)。
一,、簡介
EVG560自動化晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機)可容納四個鍵合室,,并具有各種鍵合室配置選項,適用于所有鍵合工藝和大300 mm的晶圓,。EVG560鍵合機基于相同的鍵合室設(shè)計,,并結(jié)合了EVG手動鍵合系統(tǒng)的主要功能以及增強的過程控制和自動化功能,可提供高產(chǎn)量的生產(chǎn)鍵合,。機器人處理系統(tǒng)會自動加載和卸載處理室,。
二、EVG晶圓鍵合自動系統(tǒng)特征
全自動處理,,可自動裝卸鍵合卡盤
多達四個鍵合室,,用于各種鍵合工藝
與包括SmartView的EVG機械和光學(xué)對準(zhǔn)器兼容
同時在頂部和底部快速加熱和冷卻
自動加載和卸載鍵合室和冷卻站
遠程在線診斷
三,、技術(shù)數(shù)據(jù)
大加熱器尺寸:150、200,、300毫米
裝載室使用5軸機器人
(晶圓鍵合機)多的鍵合模塊:4個