PicoFemto掃描電鏡SEM原位光電力一體化系統(tǒng)原位掃描電鏡光電力一體化系統(tǒng)集成了掃描探針控制單元,，可在三維空間內(nèi)對電學探針與光纖探針進行亞納米級別精度的操縱與定位。通過電學探針施加電場，通過光纖施加光場,，對單個納米結構進行操控并進行電學性質,、光電性質的測量。并可在物性測量的同時,，動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結構,、化學組分,、元素價態(tài)進行綜合表征，大大地擴展了掃描電鏡的功能與應用領域,。

PicoFemto掃描電鏡SEM原位光電力一體化系統(tǒng)性能指標：

電學測量指標：

● 包含一個電流電壓測試單元,；

● 電流測量大±1.5 A，小±100 fA,；

● 電壓輸出大±200 V,，小±100 nV；

● 自動電流-電壓（I-V）測量,、電流-時間（I-t）測量,，自動保存。

掃描探針操作指標：

● 粗調(diào)范圍：XY方向2.5 mm,，Z方向1.5 mm,；

● 細調(diào)范圍：XY方向18 um，Z方向1.5 um,；

● 細調(diào)分辨率：XY方向0.4 nm,，Z方向0.04 nm。

光纖指標：

● 光纖外徑250 um,，保證電鏡系統(tǒng)真空指標,；

● 可選光纖探針、平頭光纖,、光纖透鏡,；

● 可選SMA接頭、FC接頭,。

力學傳感器指標：

● 大載荷100 mN（可選0.1 mN,、1 mN、10 mN,、100 mN）,；

● 力測量實測噪聲優(yōu)于5nN（0.1 mN大載荷時）；

● 力測量實測分辨率優(yōu)于5 nN（0.1 mN大載荷時）,；

● 自動測量力-距離曲線,，自動保存。