型號

Cube-200

樣品臺

XYZ三軸自動,，RT手動
-X: 45mm             （自動）
-Y: 45mm             （自動）
-Z: 5-50mm         （自動）
-R: 360°無限         （手動）
-T: ±90°                （手動）

電子槍

預(yù)對中鎢燈絲，三極自動偏壓,，偏壓與加速電壓關(guān)聯(lián)

加速電壓

200V-30KV ,，數(shù)字化高壓電源,，連續(xù)可調(diào)

探測器

E-T型-SE detector,

半導體固體BSE detector（選購）

物鏡光闌

四孔位可變光闌,，20~100μm

分辨率

5nm @30KV  Se Image

  8nm@30KVBse Image

放大倍數(shù)

20x-300,000 x

樣品室

Se、Bse,、EDS探測器接口,， 4個其他接口

樣品尺寸

Φ90mm  x 45mm（H）

工作距離

0-48mm

掃描光柵運動

電位移 ±50μm， 電旋轉(zhuǎn) 0-360°

掃描模式

聚焦模式：320X240 像素 ,，尺寸可變

TV模式：800x 600像素 

慢掃描模式,，用于TV及聚焦模式。

照相模式：800X600,、960X720,、1024x768、1600x1200,、3200x2400像素

圖像格式

JPG,、TIFF,、bmp、PNG

真空系統(tǒng)

全自動真空系統(tǒng),，真空高壓連鎖安全保護

-渦輪分子泵    

-旋片式機械真空泵

-電動閥門系統(tǒng)：真空閘板閥,、電磁閥等

-高真空優(yōu)于7.5x10-3Pa  （從大氣到達高真空小于3分鐘）

-低真空模式 10-230Pa  （選配）

自動功能

亮度/對比度, 聚焦, 電子槍對中、偏壓,、飽和,，物鏡光闌搖擺對中，自動照相存儲

軟件系統(tǒng)

基于Win10，Virtuoso控制軟件. 內(nèi)嵌長度角度面積測量,、圖像編輯處理工具,。*鼠標鍵盤操作。

主機尺寸/重量

410(W）x440（D）x 520（H）mm /65kg

電源

單相交流 220V ,、50Hz,、1KW

耗材附件

預(yù)對中燈絲，樣品托,，碳導電膠帶,，工具