描述

●  人機(jī)工程頭部
探針臺(tái)顯微鏡PSM-1000E雙目觀(guān)察頭可以在3°- 30°轉(zhuǎn)動(dòng),，調(diào)整觀(guān)察眼點(diǎn)的高度和觀(guān)察方向,，使操作者的使用更加舒適。

●  管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)上裝有1X NUV,、1X NIR和2X 管鏡,，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡(jiǎn)單,、方便,。其中1X NUV對(duì)355nm和532nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR對(duì)532nm和1064nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化,，當(dāng)使用這3個(gè)波長(zhǎng)的激光器時(shí),，可以得到更好的激光透過(guò)率,。

●  光路切換拉桿
通過(guò)推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí),，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100,，此時(shí)從攝像接口上入射的激光*的進(jìn)入光路，提高了激光效率,；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí),，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀(guān)察,，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器,。

●  偏光觀(guān)察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件),，可進(jìn)行偏光觀(guān)察,。

●  調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作可靠,。調(diào)焦機(jī)構(gòu)大可承載45磅(20.4Kg),，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作,。

●  轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器,，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中,。

●  物鏡
PSM-1000采用長(zhǎng)工作距離的無(wú)應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡,，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本,。

●  數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸,，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上,，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng),，就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀(guān)察,。

●  照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng),，光源采用外置冷光源。長(zhǎng)達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來(lái)更自由的操作空間,。

●  探測(cè)工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測(cè)工作站上,，進(jìn)行硅片的測(cè)試。

●  激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷(xiāo),，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置,，并提供補(bǔ)償墊片。無(wú)需的激光工具箱,，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上,。

注:在安裝和使用激光器之前,，請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊(cè)。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問(wèn)題,，麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé),。

規(guī)格說(shuō)明

PSM-1000主要技術(shù)參數(shù)