描述

●  人機工程頭部
探針臺顯微鏡PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°- 30°轉(zhuǎn)動，調(diào)整觀察眼點的高度和觀察方向,，使操作者的使用更加舒適,。

●  管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡,，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進行切換,，切換簡單、方便,。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優(yōu)化,，1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優(yōu)化，當使用這3個波長的激光器時,，可以得到更好的激光透過率,。

●  光路切換拉桿
通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對光路進行切換。當轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時,，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100,，此時從攝像接口上入射的激光*的進入光路，提高了激光效率,；當轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時,，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時即可用雙目頭觀察,，同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器,。

●  偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件),，可進行偏光觀察,。

●  調(diào)焦機構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機構(gòu)轉(zhuǎn)動舒適，工作可靠,。調(diào)焦機構(gòu)大可承載45磅(20.4Kg),，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作,。

●  轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器,，使用隨機配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中,。

●  物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應(yīng)力平場復消色差物鏡,，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請參照APO物鏡樣本,。

●  數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機的CCD尺寸,，選擇合適的攝像接頭,，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng),，就可以在電腦,、電視或監(jiān)視器上同步觀察。

●  照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng),，光源采用外置冷光源,。長達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間。

●  探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上,，進行硅片的測試,。

●  激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置,，并提供補償墊片,。無需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上,。

注:在安裝和使用激光器之前,，請您仔細閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問題,，麥克奧迪實業(yè)集團有限公司對此概不負責,。

規(guī)格說明

PSM-1000主要技術(shù)參數(shù)