描述

●  人機工程頭部
探針臺顯微鏡PSM-1000雙目觀察頭可以在3°- 30°轉動,，調整觀察眼點的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適,。

●  管鏡
PSM-1000的管鏡轉盤上裝有1X NUV,、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據需要進行切換,，切換簡單,、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優(yōu)化,，1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優(yōu)化,，當使用這3個波長的激光器時，可以得到更好的激光透過率,。

●  光路切換拉桿
通過推拉光路轉換拉桿可以方便的對光路進行切換,。當轉換拉桿往外拉時，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100,，此時從攝像接口上入射的激光*的進入光路,，提高了激光效率；當轉換器拉桿往里推時,，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50,，此時即可用雙目頭觀察，同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器,。

●  偏光觀察
主體上留有偏光插孔,，插上偏光附件(選配件)，可進行偏光觀察,。

●  調焦機構
PSM-1000的調焦機構轉動舒適,，工作可靠。調焦機構大可承載45磅(20.4Kg),，確保安裝激光器和CCD攝像頭后,，仍然能夠正常工作。

●  轉換器
PSM-1000采用4孔可調中轉換器,，使用隨機配送的調中鑰匙,，可以很方便地調整物鏡的齊中,。

●  物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應力平場復消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質量,。關于物鏡的具體參數請參照APO物鏡樣本,。

●  數碼攝像系統
根據所使用的CCD攝像機的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭,，安裝在攝像接口上,，組成數碼攝像系統，就可以在電腦,、電視或監(jiān)視器上同步觀察,。

●  照明系統
采用同軸垂直照明系統，光源采用外置冷光源,。長達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間,。

●  探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上，進行硅片的測試,。

●  激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷,，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置,，并提供補償墊片,。無需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上,。

注:在安裝和使用激光器之前,，請您仔細閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產生的安全和性能問題,，麥克奧迪實業(yè)集團有限公司對此概不負責,。

規(guī)格說明

PSM-1000主要技術參數