CIF紫外臭氧清洗機(jī)

紫外臭氧清洗機(jī)（UVO）,，是一種簡單，經(jīng)濟(jì),，快速高效的材料表面清洗設(shè)備,，能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英，硅片,，金,，鎳，鋁,，砷化鎵,，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。

CIF紫外臭氧清洗機(jī)采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,，樣品臺高度可調(diào)并可選加熱控溫,，以便達(dá)到清洗效果。

產(chǎn)品特點

u 可編程數(shù)字控制器,，設(shè)置操作簡單方便,，四鍵操作控制。

u 數(shù)字倒計時顯示清洗時間,，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時間,。

u 任何時間可以手動中斷處理過程。

u 自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置,。

u 樣品臺可控溫（可選）,，控溫范圍RT-260℃,，控溫精度0.1℃。

u 上置式樣品臺設(shè)計,，360度自由放置樣品,，操作方便。

u 樣品臺高度可調(diào),，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,，可以合理定位樣品高度和位置，位置可鎖定,。

u UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,，燈管壽命大約為8000小時。

u 高強(qiáng)度UV燈源,，波長185nm和254nm,。

u UV反射罩（長X寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm,。

u 雙重安全保護(hù),，當(dāng)清洗腔打開時，系統(tǒng)安全鎖會關(guān)掉UV燈,，并有燈光通斷提示,。

• 帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計，可接入氧氣,，增加臭氧產(chǎn)量,。

u 可選臭氧中和器,，用于臭氧清除,。

u 可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。

技術(shù)參數(shù)

注：UVO型基礎(chǔ)型樣品臺不帶加熱功能,，樣品臺高度不可調(diào),；UVOP可選配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調(diào),；UVOT標(biāo)配樣品臺加熱功能,，樣品臺高度可調(diào)。