CIF勻膠機

產(chǎn)品特點

u 采用閉環(huán)控制伺服電機，數(shù)字式增速信號反饋,，速勻準(zhǔn)確,，壽命長，保證勻膠均勻,。

u 5寸全彩觸摸屏,，智能程序化可編程操控顯示,，標(biāo)配10個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設(shè)置）,，可選配10個可編程程序，每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段,，多100個階段,。

u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，大限度的保證旋涂均勻,，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂,。

u 多重安全保護(hù)

電磁安全開關(guān),，蓋子打開卡盤停止，保證安全,；

蓋子自鎖功能,，防止飛片蓋子彈開傷人；

雙重安全上蓋,，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實驗人員安全,。

一

u 機兩用,，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。

u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,，PTFE旋涂腔體,，聚丙烯（NPP-H）旋涂托盤，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,，耐酸堿防腐蝕,，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

u 適用硅片,、玻璃,、石英、金屬,、GaAs,，GaN，InP 等多種材料,。

技術(shù)參數(shù)