一,、 槽式濕法設(shè)備：

型號(hào)有DF-1500B、DF-2000B,、DF-3000B三大系列 ,，分Cassetteless type和Cassette type，適用于6吋,，8吋，12吋晶圓清洗,，主要工藝包括B Clean,，Oxide Remove, Nitride Remove, PR Strip, Particle Remove, Solvent Clean, Wafer Reclaim, Metal Etch等，可應(yīng)用于半導(dǎo)體,、LED和太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域,。

產(chǎn)品詳情：

1、槽式濕法設(shè)備Cassetteless-type：適用于90~130nm工藝制程,，均勻性高,，顆粒度低和顆粒等級(jí)優(yōu)勢(shì)大，適用DMOS、50LOGIC,、35MIX等產(chǎn)品,。

- 滿足SEMI S2、SEMI S8和CE標(biāo)準(zhǔn),；

- 全自動(dòng)倒片,，兼容SMIF和FOUP；

- 支持EAP,、FDC等功能,；

- 多級(jí)Wafer保護(hù)措施；

- 支持Marangoni干燥,；

- 支持多任務(wù)并行處理,；

- 自動(dòng)補(bǔ)、配液,，可兼容多種濃度配比,；

- 支持自動(dòng)補(bǔ)液及配液；

- 配置煙感,，溫感,，光感及CO2 滅火裝置；

- BATH過溫保護(hù),，各MODULE 配置LEAK SENSOR,；

- INTERLOCK全面豐富。

2,、槽式濕法設(shè)備Cassette-type：適用于130nm及以上制程,，適用產(chǎn)品如：IGBT、MEMS等,，自動(dòng)化程度高,，價(jià)比高，穩(wěn)定性強(qiáng),。

- 搭載*超聲波,、兆生波清洗模塊，優(yōu)化清洗工藝效果,；

- 支持EAP,、FDC等功能；

- 多級(jí)wafer保護(hù)措施,；

- 集成多種干燥技術(shù),，如：馬蘭格尼干燥、IPA 干燥,；

- 多尺寸襯底兼容清洗,；

- 支持多任務(wù)并行處理；

- 全自動(dòng)滅火系統(tǒng)，排風(fēng)系統(tǒng)防爆處理,，提高設(shè)備安全性,；

- 自動(dòng)補(bǔ)、配液,，可兼容多種濃度配比,。

大家好！無(wú)錫亞電智能裝備有限公司是半導(dǎo)體晶圓行業(yè)濕法制程服務(wù)商,，專注于晶圓前道濕法刻蝕清洗技術(shù),，是*批推進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的企業(yè)之一。公司核心產(chǎn)品為6吋,、8吋,、12吋濕法刻蝕清洗設(shè)備，包括槽式設(shè)備和單片設(shè)備,，涵蓋多種前道濕法工藝,，如：B Clean，Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,Metal Etch等,。此外,，為應(yīng)對(duì)個(gè)性化的清洗需求，公司還研發(fā)了多種輔助清洗機(jī)臺(tái),，如：爐管清洗機(jī),，片盒清洗機(jī)，部件清洗機(jī),，本地化學(xué)品供液設(shè)備,，濕法工作臺(tái)，烘箱等,。目前已與無(wú)錫上華,、寧波中芯、廣州粵芯,、無(wú)錫華虹,、重慶華潤(rùn)微電子等客戶達(dá)成友好合作。