RTS-8四探針電阻率測試儀器

電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可擴(kuò)展),；  
方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：10^-5～10⁵  s/cm,；

電阻：10^-5～10⁵  Ω,；

可測晶片直徑

140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺),；

400mmX500mm(配S-2C型測試臺),；

恒流源電流量程分為1μA、10μA,、100μA,、1mA、10mA,、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式：000.00～199.99mV；    
分辨力：10μV,；
輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性,、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標(biāo)針：

間絕緣電阻：≥1000MΩ,；

機械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力),；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)  0.01Ω、0.1Ω,、1Ω,、10Ω、100Ω,、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量大相對誤差(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%

RTS-8四探針電阻率測試儀器測試模式：可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能（選配）軟件可記錄、保存,、打印每一點的測試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)大值、小值,、平均值,、大百分變化,、平均百分變化、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動測量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口：并口,，高速并行采集數(shù)據(jù),，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5  秒（在 0.1mA、1mA,、10mA,、100mA量程檔時）。

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度：23±2℃,；
相對濕度：≤65%,；
無高頻干擾；
無強光直射,；