IH600愛德華螺桿泵維修
- 公司名稱 東莞市鑰大真空設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/10/28 12:39:16
- 訪問次數(shù) 1604
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東莞市鑰大真空設(shè)備有限公司成立于2013年,。座落于世界制造名城-廣東省東莞市寮步鎮(zhèn)。公司以銷售進(jìn)口真空泵,，真空泵配件,，進(jìn)口真空泵維修和設(shè)計(jì)安裝真空*負(fù)壓系統(tǒng)的研究開發(fā)與生產(chǎn)、銷售的專業(yè)公司,，生產(chǎn)和銷售的產(chǎn)品主要有：產(chǎn)銷鑰大單級(jí)旋片油式真空泵,，無油活塞泵。并銷售德國(guó)(Leybold)萊寶,、德國(guó)（Busch）普旭,、德國(guó)（BECKER）貝克,、德國(guó)（Rietschle）里其樂、英國(guó)（Edwards）愛德華,、阿爾卡特 日本愛發(fā)科 等國(guó)外真空泵及真空泵油,、真空泵配件。并有專業(yè)的維修服務(wù)團(tuán)隊(duì)為客戶提供愛德華真空泵維修,、萊寶真空泵維修,、愛發(fā)科真空泵維修、阿爾卡特真空泵維修,。公司以“科技保證質(zhì)量,，服務(wù)完善產(chǎn)品”的經(jīng)營(yíng)理念為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的真空泵產(chǎn)品和真空泵維修服務(wù)。
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| 供貨周期 | 一周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子 |
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湖北武漢IH600愛德華螺桿泵維修，半導(dǎo)體真空泵維修保養(yǎng),。Edwards IH600系列干泵在環(huán)境（顆粒,，腐蝕物）下有著高可靠性，例如PECVD,，LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間,，無需潤(rùn)滑,，這樣就確保了油不會(huì)被反抽到系統(tǒng)中。IH600系統(tǒng)有一個(gè)HCDP80干泵,；HCMB-600干泵,。IH600系統(tǒng)適用于無風(fēng)冷電機(jī)的潔凈環(huán)境中。IH600干泵系統(tǒng)還擁有運(yùn)送清潔氣體進(jìn)入HCDP泵的氣體系統(tǒng),，適用于制程物嚴(yán)重的工藝中,。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過顯示終端可手動(dòng)控制真空系統(tǒng),。另外,，可以通過接口模塊或即時(shí)通訊模塊或IH單設(shè)備監(jiān)控器使用其他控制設(shè)備去操作IH干泵系統(tǒng)。 半導(dǎo)體晶圓廠的應(yīng)用包括： LOADLOC 傳送 測(cè)量 光刻 物理氣相沉積工藝 物理氣相沉積預(yù)清潔 快速熱退火 去膠 蝕刻 高密度等離子化學(xué)氣相沉積 高密度等離子體化學(xué)氣相沉積快速熱處理 大氣化學(xué)氣相沉積sacvd 鎢化學(xué)氣相沉積
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 低壓化學(xué)氣相淀積,。
規(guī)格參數(shù)：
Edwards IH600
項(xiàng) 目 參 數(shù)
Inlet Connection ISO 100
Outlet Connection NW40
Peak Speed 518 m3h1
8635 1min-1
305 CFM
Ultimate Vacuum 2 x 10-3 mbar
1.5 x 10-3 Torr
Power bbbbb at vacuum 3.1 kW
Rated Motor Power 5.1 kW
Weight 913 kg/lbs.
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