半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修
- 公司名稱 東莞市鑰大真空設備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/10/28 14:43:31
- 訪問次數 1659
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供貨周期 | 一周 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子 |
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半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修.Edwards愛德華高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照工作標準運行,。通過延長使用壽命,、提高運行時間并提高生產率,同時減小占地面積,、降低運行成本,,實現了高的可靠性能。
iH 系列真空泵為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒,、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠xing,。通常情況下在使用螺桿泵時,應定期的對螺桿泵進行檢查,,發(fā)現故障要及時維修,。般螺桿泵檢修主要有小修和大修之分,,螺桿泵小修的檢查周期用在6個月左右,大修的檢查周期應在24個月,。根據螺桿泵運行狀況及狀態(tài)監(jiān)測結果可適當調整檢修周期,。
半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修前準備在檢修螺桿泵前應做好以下準備工作。
①掌握運行情況,,備齊必要的圖紙資料,。
②備齊檢修工具、量具,、配件及材料,。
③切斷電源及設備與系統(tǒng)聯系,內部介質冷卻,、吹掃,、置換干凈,符合安全檢修條件,。
螺桿泵的拆卸與檢查
拆卸螺桿泵時應按以下步驟進行,。
①檢查電動機電源;電源應斷開,,并將電源開關上鎖,。檢查出、人口閥門關閉情況,,若沒有關閉,,應關緊。
②松開電動機與泵軸之間的聯軸器的連接螺栓,,卸下聯軸器,。
③拆卸檢查同步齒輪。
對于單螺桿泵或三螺桿泵,,拆卸泵后端蓋,,檢查墊片、止推墊片,、軸承,、軸向定位塞。
對于雙螺桿泵,,拆卸泵后端蓋,,拆卸檢查軸承及密封。
④拆卸前端蓋,,拆卸檢查主,、從動螺稈及密封。
⑤必要時更換端蓋與泵體之間墊片。
半導體行業(yè)IH80愛德華干泵維修,,超長保固期,。