GV400愛德華干泵維修
- 公司名稱 東莞市鑰大真空設備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/28 14:14:02
- 訪問次數(shù) 3259
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供貨周期 | 一周 | 應用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子 |
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GV400愛德華干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子,在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙,,使得真空泵浦運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑,,因而無油氣回漏污染的問題。透過轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果,,壓力可達7.5×10-3Torr,。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,,加上轉(zhuǎn)子表面披覆特殊材質(zhì)的鍍膜,,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程,。東莞鑰大真空設備有限公司提供Pfeiffer普發(fā),、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特,、Edwards愛德華,、Varia瓦里安,、ULVAC愛發(fā)科等進口品牌的真空泵 螺桿泵維修保養(yǎng)服務
GV400愛德華干泵維修流程
(1)擦凈零件,疏通油孔 ,。
(2)把旋片及彈簧裝入高級轉(zhuǎn)子槽內(nèi)后,,把高級轉(zhuǎn)子裝入泵身內(nèi),裝上高級泵蓋,、肖,、螺釘、鍵,、軸套等,,用手旋轉(zhuǎn),應無滯阻和明顯輕重,。
(3)低級轉(zhuǎn)子裝配同上,。
(4)裝止回閥葉輪部件,應使止回閥平面對準進油咀孔二用于輕輕擋住葉輪并旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子,,油孔應時開時閉,,調(diào)整閥頭平面開啟高度為0. 8-1. 1mm。
(5)裝上泵部的排氣閥,、擋油板等零件,。
(6)把泵部件、鍵,、軸套,、電機裝在支座上。
(7)裝油箱,。
(8)插入進氣咀,、氣鎮(zhèn)閥、裝上壓板,,螺釘緊固,。
注意:
(1)裝配時,各摩擦面應涂上清潔的真空泵油,。
(2)記住零件的原裝配位置,,可減少跑合時間。
(3)緊固體應無松動,,緊固時應均勻施力,。
(4)對磨損零件應檢查,并酌情修理或調(diào)換,。
(5)總裝結(jié)束后,,可以從泵進氣口加入少量泵油,然后用手轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)動時,,手的感覺應是阻力均勻,,無明顯阻滯現(xiàn)象。
我們將按GV400愛德華干泵維修流程,,為客戶保證維修之設備的質(zhì)量