雙電測數(shù)字式四探針測試儀 雙電測四探針檢測儀 型號:HD-2263/ST2263

概述
HD-2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測-改進(jìn)形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器,。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),。利用電流探針、電壓探針的變換,，進(jìn)行兩次電測量,，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響,，它與單電測直線或方形四探針相比,，大大提高精確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試,。
儀器成套組成：由主機(jī),、選配的四探針探頭、測試臺以及PC軟件等部分組成,。
主機(jī)主要由精密恒流源,、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成,，USB通訊接口,。儀器主機(jī)所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關(guān)輸入,；具有零位,、滿度自校功能；測試功能可自動/手動方式,；儀器操作可由配套軟件在PC機(jī)上操作完成,，也可脫P(yáng)C機(jī)由四探針儀器面板上獨(dú)立操作完成。測試結(jié)果數(shù)據(jù)由主機(jī)數(shù)碼管直接顯示,，也可連機(jī)由軟件界面同步顯示,、分析、保存和打??！
探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配,。有高耐磨碳化鎢探針探頭,，以測試硅類半導(dǎo)體、金屬,、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻,；也有球形鍍金銅合金探針探頭，可測柔性材料導(dǎo)電薄膜,、金屬涂層或薄膜,、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,，還可對電阻器體電阻,、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。
測試臺選配：一般四探針法測試電阻率/方阻配HAD-A或HAD-B或HAD-C或HAD-F型測試臺,。
詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的特點(diǎn)與選型參考》
儀器具有測量精度高,、靈敏度高,、穩(wěn)定性好、智能化程度高,、測量簡便,、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn),。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠,、科研單位、高等院校對導(dǎo)體,、半導(dǎo)體,、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試,。
三,、基本技術(shù)參數(shù)
3.1 測量范圍
電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm
方 阻：5×10-4～1×106 Ω/□,，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□
電 阻：1×10-5～2×105 Ω ,，分辨率：1×10-6～1×102 Ω
3.2 材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式?jīng)Q定)
直 徑：HAD-A圓測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，手持方式不限
HD-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,，手持方式不限.
長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向,、徑向均可

量程劃分及誤差等級

四探針探頭（選配其一或加配全部）
(1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm,，探針壓力: 0～2kg 可調(diào)
(2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm,，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào)
3.6 電源
輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<20W
3.7 外形尺寸：
主機(jī) 220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高）