RTS-8型四探針測(cè)試儀應(yīng)用

恒流源電流量程分為1μA,、10μA,、100μA,、1mA、10mA,、100mA六檔,；    

可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動(dòng)測(cè)量功能,，自動(dòng)選擇適合樣品測(cè)試電流量程,；    

高速并口通訊接口，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒（在0.1mA,、1mA,、10mA、100mA量程檔時(shí)）,；    

    RTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器,。
    儀器由主機(jī),、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭,、計(jì)算機(jī)等部分組成,，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
    儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì),、裝配。具有功能選擇直觀,、測(cè)量取數(shù)快,、精度高、測(cè)量范圍寬,、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn),。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠、科研單位,、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試,。
   

RTS-8型四探針測(cè)試儀前面板

    RTS-8型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,，通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
    測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄,、顯示出來,。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析點(diǎn)擊放大圖片

技　術(shù)　指　標(biāo) ：    

 測(cè)量范圍

    電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展),；  
 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)；
 電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm,；
 電阻：10-5～105 Ω,；

可測(cè)晶片直徑

    140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái)),；
 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái)),；    

恒流源

    電流量程分為1μA、10μA,、100μA,、1mA、10mA,、100mA六檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)    

數(shù)字電壓表

    量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV,；
 輸入阻抗：>1000MΩ,；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性,、超量程自動(dòng)顯示；    

四探針探頭基本指標(biāo)

    間距：1±0.01mm,；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
 機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力),；    

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

    (見探頭附帶的合格證)    

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

    0.01Ω、0.1Ω,、1Ω,、10Ω、100Ω,、1000Ω,、10000Ω≤0.3%±1字    

整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差

   (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%    

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

    ≤5%    

測(cè)試模式

    可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試    

軟件功能（選配）

   軟件可記錄,、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)最大值,、最小值、平均值,、最大百分變化,、平均百分變化、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。    

計(jì)算機(jī)通訊接口

    并口,，高速并行采集數(shù)據(jù),，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5  秒（在 0.1mA、1mA,、10mA,、100mA量程檔時(shí)）。    

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

    溫度：23±2℃,；
 相對(duì)濕度：≤65%,；
 無高頻干擾；
 無強(qiáng)光直射,；