SHCV-12 分析探針臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
品牌
型號 SHCV-6/SHCV-8/SHCV-12
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時間 2019/7/2 10:53:10
訪問次數(shù) 311

產(chǎn)品標簽

高低溫真空探針臺晶圓測試探針臺半導體測試失效分析全自動探針臺

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公司介紹 主營產(chǎn)品

SEMISHARE 森美協(xié)爾有限公司,，是集自主研發(fā)/設(shè)計,、生產(chǎn)、銷售為一體的探針測試集成系統(tǒng)和激光修復設(shè)備及解決方案供應(yīng)商,，致力于為用戶提供基于探針系統(tǒng)標準的精密測量測試方案,，主營業(yè)務(wù)包括半導體行業(yè)、光電,、集成電路及封裝測試中復雜器件的精密檢測系統(tǒng)及激光修復系統(tǒng)的設(shè)計制造,，有超過10年的行業(yè)經(jīng)驗和技術(shù)積累；目前設(shè)有半導體營銷事業(yè)部和半導體設(shè)備制造工廠,，在多個細分市場建立了穩(wěn)定的客戶關(guān)系和供應(yīng)體系,。
經(jīng)過不斷的前沿技術(shù)創(chuàng)新，SEMISHARE可提供更完善的產(chǎn)品解決方案,，幫助改善芯片產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品品質(zhì)及可靠性，縮短研發(fā)時間和器件制造工藝成本,。

展開

半導體檢測設(shè)備：探針臺,，I-V/C-V參數(shù)測試儀，網(wǎng)絡(luò)分析儀,，激光系統(tǒng),，金相顯微鏡，EMMI微光顯微鏡,，X射線,，C-SAM超聲波探測，電子顯微鏡

詳細信息 在線詢價

產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	電動機功率	2.2KWkW
外形尺寸	860mm850mm700mmmm	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池
重量	170kgkg

半自動分析探針臺
型號		SHCV-6	SHCV-8		SHCV-12
外形		860mm850mm700mm	880mm860mm750mm		1300mm920mm920mm
重量		約180KG	約250KG		約380KG
電力需求		AC220V,50~60HZ
Chuck	尺寸	6英寸	8英寸		12英寸
	X-Y軸行程	6*6英寸	8*8英寸		12*12英寸
	X-Y軸移動解析度	0.1um
	X-Y軸重復定位精度	±1um
	移動速度	≥ 50 mm/sec
	Z軸行程	10mm
	Z軸移動解析度	0.1um
	Z軸重復定位精度	±1um
	Theta角度行程	±10°	Theta角度解析度		0.0001°
	樣品固定方式	多孔真空吸附,，獨立分區(qū)控制
	切換樣品功能	樣品臺快速拉出
	結(jié)構(gòu)	同軸高壓設(shè)計,，鍍金，電學獨立懸空,，可作為背電極使用
針座平臺	規(guī)格	O型平臺,，多可放置8個針座	O型平臺，多可放置10個針座		O型平臺,，多可放置12個針座
	行程&調(diào)節(jié)方式	平臺可以快速升降,，行程6mm并帶自動鎖定功能
溫控特性	溫度范圍	﹣100~200℃	﹣80~200℃		﹣60~200℃
	溫控精度	溫度分辨率： 0.01°C
	加熱電源	LVDC 低壓直流
	低控溫速率	±0.1°C /小時
	傳感器	Pt100
	制冷方式	液氮制冷或者壓縮機制冷
軟件功能		wafer map的編輯	光學特性	顯微鏡行程	2*2inch
		儀器的接入		顯微鏡行程	1um
		數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示		放大倍數(shù)	20-4000X
		數(shù)據(jù)的分析		CCD像素	50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
		差異數(shù)據(jù)的標定Ink mark	點針規(guī)格	點針精度	10微米/2微米/0.7微米
		自定義Bin分		X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm
		自動測試		漏電精度	10pA/100fA
		通訊接口：RS232/484TCP/IP/,GPIB等		接口形式	香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口
大功率規(guī)格	配置	大功率kelvin樣品臺	減震		主動式減震系統(tǒng),，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動
		大功率夾具線纜	可選附件	射頻測試	chuck快速拉出裝置
		mult-pin 分流探針		卡盤鍍金	PCB板夾具
		大功率保護模塊（針座用）		激光修復	液晶熱點偵測套裝
		保護紅外光幕,，防止人員誤進入工作區(qū)，觸發(fā)時interlock互鎖		探針卡夾具	光強/波長測試接口部件
		大功率儀器連接模塊		屏蔽箱	高低溫樣品臺（-80~200℃）
	大測試電壓	10KV		加熱臺	顯微鏡傾仰裝置
	大測試電流	500A（脈沖）	應(yīng)用方向		晶圓測試,，功率器件半自動測試

特點：
Si/SiC/GaN等晶圓測試			超高的測試精度和測試效率
大功率晶圓測試			便捷的儀器接入
（-80~200℃）高低溫Chuck			半自動測試
20~4000X光學顯微放大			可升級全自動測試
功能豐富的測試軟件			可升級射頻測試

半自動分析探針臺
型號		SHCV-6	SHCV-8		SHCV-12
外形		860mm850mm700mm	880mm860mm750mm		1300mm920mm920mm
重量		約180KG	約250KG		約380KG
電力需求		AC220V,50~60HZ
Chuck	尺寸	6英寸	8英寸		12英寸
	X-Y軸行程	6*6英寸	8*8英寸		12*12英寸
	X-Y軸移動解析度	0.1um
	X-Y軸重復定位精度	±1um
	移動速度	≥ 50 mm/sec
	Z軸行程	10mm
	Z軸移動解析度	0.1um
	Z軸重復定位精度	±1um
	Theta角度行程	±10°	Theta角度解析度		0.0001°
	樣品固定方式	多孔真空吸附,，獨立分區(qū)控制
	切換樣品功能	樣品臺快速拉出
	結(jié)構(gòu)	同軸高壓設(shè)計，鍍金,，電學獨立懸空,，可作為背電極使用
針座平臺	規(guī)格	O型平臺,，多可放置8個針座	O型平臺，多可放置10個針座		O型平臺,，多可放置12個針座
	行程&調(diào)節(jié)方式	平臺可以快速升降,，行程6mm并帶自動鎖定功能
溫控特性	溫度范圍	﹣100~200℃	﹣80~200℃		﹣60~200℃
	溫控精度	溫度分辨率： 0.01°C
	加熱電源	LVDC 低壓直流
	低控溫速率	±0.1°C /小時
	傳感器	Pt100
	制冷方式	液氮制冷或者壓縮機制冷
軟件功能		wafer map的編輯	光學特性	顯微鏡行程	2*2inch
		儀器的接入		顯微鏡行程	1um
		數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示		放大倍數(shù)	20-4000X
		數(shù)據(jù)的分析		CCD像素	50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）
		差異數(shù)據(jù)的標定Ink mark	點針規(guī)格	點針精度	10微米/2微米/0.7微米
		自定義Bin分		X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm
		自動測試		漏電精度	10pA/100fA
		通訊接口：RS232/484TCP/IP/,GPIB等		接口形式	香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口
大功率規(guī)格	配置	大功率kelvin樣品臺	減震		主動式減震系統(tǒng),，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動
		大功率夾具線纜	可選附件	射頻測試	chuck快速拉出裝置
		mult-pin 分流探針		卡盤鍍金	PCB板夾具
		大功率保護模塊（針座用）		激光修復	液晶熱點偵測套裝
		保護紅外光幕,，防止人員誤進入工作區(qū)，觸發(fā)時interlock互鎖		探針卡夾具	光強/波長測試接口部件
		大功率儀器連接模塊		屏蔽箱	高低溫樣品臺（-80~200℃）
	大測試電壓	10KV		加熱臺	顯微鏡傾仰裝置
	大測試電流	500A（脈沖）	應(yīng)用方向		晶圓測試,，功率器件半自動測試

特點：
Si/SiC/GaN等晶圓測試			超高的測試精度和測試效率
大功率晶圓測試			便捷的儀器接入
（-80~200℃）高低溫Chuck			半自動測試
20~4000X光學顯微放大			可升級全自動測試
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