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SHCV-Auto SHCV大功率半自動(dòng)探針臺(tái)

參考價(jià) 100000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市森美協(xié)爾科技有限公司(SEMISHARE)致力半導(dǎo)體技術(shù)的共享事業(yè),,專注于促進(jìn)中國半導(dǎo)體行業(yè)的快速成長,目標(biāo)成為半導(dǎo)體行業(yè)*的total solution供應(yīng)商,。目前設(shè)有半導(dǎo)體儀器營銷事業(yè)部和半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠,。SEMISHARE半導(dǎo)體儀器營銷事業(yè)部代理的設(shè)備包括半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備:SEMISHARE品牌探針臺(tái)和激光修復(fù)儀,I-V/C-V參數(shù)測(cè)試儀,,網(wǎng)絡(luò)分析儀,,激光系統(tǒng),金相顯微鏡,,EMMI微光顯微鏡,,X射線,C-SAM超聲波探測(cè),,電子顯微鏡?,。晶圓工藝設(shè)備:晶圓鍵合,去膠,,沉積,,等離子刻蝕,擴(kuò)散,氧化爐,,勻膠機(jī),,光刻機(jī),磁控濺射機(jī)臺(tái),,電子束蒸渡機(jī),。SEMISHARE半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠總資產(chǎn)達(dá)5000余萬元,廠房面積約5000平方米,,現(xiàn)有員工500余人,,其中專業(yè)技術(shù)人員100余人,公司擁有*的生產(chǎn)工藝及品控檢測(cè),,主要設(shè)備有:壓鑄機(jī),、精雕機(jī)、CNC高光機(jī),、光纖激光鐳射機(jī),、CD紋機(jī),、批字機(jī)、各種噸位沖床,、線割機(jī),、CNC加工中心、火花機(jī),、各噸位塑膠注塑機(jī),、耐磨測(cè)試儀、人工汗測(cè)試儀等,。2009年,,我們開始研發(fā)制造SEMISHARE品牌探針臺(tái)和激光修復(fù)設(shè)備,激光器獲得國家*,。 目前,,SEMISHARE的產(chǎn)品和解決方案已經(jīng)應(yīng)用于中國100多家客戶,服務(wù)中國半導(dǎo)體研發(fā)機(jī)構(gòu)前50強(qiáng)中的40多家,。

半導(dǎo)體探針臺(tái),,激光修復(fù),霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)

大功率半自動(dòng)探針臺(tái)
型號(hào)SHCV-6-AutoSHCV-8-AutoSHCV-12-Auto
外形860mm*850mm*700mm880mm*860mm*750mm 1300mm*920mm*920mm
重量180KG250KG380KG
電力需求AC220V,50~60HZ
Chuck尺寸6inch8inch12inch
X-Y軸行程6*6inch8*8inch12*12inch
X-Y軸移動(dòng)解析度0.04um/0.1um
X-Y軸重復(fù)定位精度±1um
移動(dòng)速度≥ 50 mm/sec
Z軸行程10mm
Z軸移動(dòng)解析度0.1um
Z軸重復(fù)定位精度±1um
Theta角度行程±15°
Theta角度解析度0.0003°
光柵尺帶光柵尺
樣品固定方式多孔真空吸附,,獨(dú)立分區(qū)控制
切換樣品功能樣品臺(tái)快速拉出
結(jié)構(gòu)同軸高壓設(shè)計(jì),,鍍金,電學(xué)獨(dú)立懸空,,可作為背電極使用
針座平臺(tái)規(guī)格O型平臺(tái),,多可放置8個(gè)針座O型平臺(tái),多可放置10個(gè)針座O型平臺(tái),,多可放置12個(gè)針座
行程&調(diào)節(jié)方式平臺(tái)可以快速升降,,行程 6mm并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào),行程25mm,,升降精度1um
控制方式手動(dòng)控制盒(可選擇帶操縱桿)
軟件控制
軟件功能wafer map的編輯
儀器的接入
數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示
數(shù)據(jù)的分析
差異數(shù)據(jù)的標(biāo)定Ink mark
自定義Bin分
自動(dòng)測(cè)試  
通訊接口:RS232/EtherCAT/GPIB等  
大功率規(guī)格配置大功率kelvin樣品臺(tái)
大功率夾具線纜
mult-pin 分流探針
大功率保護(hù)模塊(針座用)
保護(hù)紅外光幕,,防止人員誤進(jìn)入工作區(qū),觸發(fā)時(shí)interlock互鎖
大功率儀器連接模塊
大測(cè)試電壓10KV
大測(cè)試電流500A(脈沖)
光學(xué)特性顯微鏡行程2*2inch
顯微鏡行程1um
放大倍數(shù)20-4000X
CCD像素50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)
點(diǎn)針規(guī)格點(diǎn)針精度10微米/2微米/0.7微米
X-Y-Z行程12mm-12mm-12mm
漏電精度 10pA/100fA
接口形式香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA,,SHV接口
溫控特性溫度范圍﹣100~200℃﹣80~200℃﹣60~200℃
溫控精度溫度分辨率 : 0.01°C
加熱電源LVDC 低壓直流
低控溫速率   ±0.1°C  /小時(shí) 
傳感器Pt100
制冷方式液氮制冷
減震主動(dòng)式減震系統(tǒng),,能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動(dòng)
可選附件chuck快速拉出裝置
顯微鏡傾仰裝置
激光修復(fù)
探針卡夾具
光強(qiáng)/波長測(cè)試接口部件
加熱臺(tái)
高低溫樣品臺(tái)(-80~200℃)
防震桌
射頻測(cè)試
PCB板夾具
液晶熱點(diǎn)偵測(cè)套裝
屏蔽箱
卡盤鍍金
運(yùn)用方向晶圓測(cè)試,功率器件測(cè)試
 
特點(diǎn):
SiC/GaN晶圓測(cè)試超高的測(cè)試精度
大功率晶圓測(cè)試便捷的儀器接入
(-60~200℃)高低溫Chuck半自動(dòng)測(cè)試
20~4000X光學(xué)顯微放大可升級(jí)全自動(dòng)測(cè)試
功能豐富的測(cè)試軟件可升級(jí)射頻測(cè)試


 



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