化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)>SHCV-Auto SHCV大功率半自動(dòng)探針臺(tái)
SHCV-Auto SHCV大功率半自動(dòng)探針臺(tái)
參考價(jià) | ¥ 100000 |
訂貨量 | ≥1 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào) SHCV-Auto
- 產(chǎn)地 深圳
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2018/6/28 9:26:12
- 訪問次數(shù) 420
產(chǎn)品標(biāo)簽
探針臺(tái)半自動(dòng)探針臺(tái)高低溫探針臺(tái)探針臺(tái)價(jià)格探針臺(tái)圖片
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大功率半自動(dòng)探針臺(tái) | ||||
型號(hào) | SHCV-6-Auto | SHCV-8-Auto | SHCV-12-Auto | |
外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm | |
重量 | 180KG | 250KG | 380KG | |
電力需求 | AC220V,50~60HZ | |||
Chuck | 尺寸 | 6inch | 8inch | 12inch |
X-Y軸行程 | 6*6inch | 8*8inch | 12*12inch | |
X-Y軸移動(dòng)解析度 | 0.04um/0.1um | |||
X-Y軸重復(fù)定位精度 | ±1um | |||
移動(dòng)速度 | ≥ 50 mm/sec | |||
Z軸行程 | 10mm | |||
Z軸移動(dòng)解析度 | 0.1um | |||
Z軸重復(fù)定位精度 | ±1um | |||
Theta角度行程 | ±15° | |||
Theta角度解析度 | 0.0003° | |||
光柵尺 | 帶光柵尺 | |||
樣品固定方式 | 多孔真空吸附,,獨(dú)立分區(qū)控制 | |||
切換樣品功能 | 樣品臺(tái)快速拉出 | |||
結(jié)構(gòu) | 同軸高壓設(shè)計(jì),,鍍金,電學(xué)獨(dú)立懸空,,可作為背電極使用 | |||
針座平臺(tái) | 規(guī)格 | O型平臺(tái),,多可放置8個(gè)針座 | O型平臺(tái),多可放置10個(gè)針座 | O型平臺(tái),,多可放置12個(gè)針座 |
行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺(tái)可以快速升降,,行程 6mm并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào),行程25mm,,升降精度1um | |||
控制方式 | 手動(dòng)控制盒(可選擇帶操縱桿) | |||
軟件控制 | ||||
軟件功能 | wafer map的編輯 | |||
儀器的接入 | ||||
數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示 | ||||
數(shù)據(jù)的分析 | ||||
差異數(shù)據(jù)的標(biāo)定Ink mark | ||||
自定義Bin分 | ||||
自動(dòng)測(cè)試 | ||||
通訊接口:RS232/EtherCAT/GPIB等 | ||||
大功率規(guī)格 | 配置 | 大功率kelvin樣品臺(tái) | ||
大功率夾具線纜 | ||||
mult-pin 分流探針 | ||||
大功率保護(hù)模塊(針座用) | ||||
保護(hù)紅外光幕,,防止人員誤進(jìn)入工作區(qū),觸發(fā)時(shí)interlock互鎖 | ||||
大功率儀器連接模塊 | ||||
大測(cè)試電壓 | 10KV | |||
大測(cè)試電流 | 500A(脈沖) | |||
光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | 2*2inch | ||
顯微鏡行程 | 1um | |||
放大倍數(shù) | 20-4000X | |||
CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | |||
點(diǎn)針規(guī)格 | 點(diǎn)針精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||
X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
漏電精度 | 10pA/100fA | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA,,SHV接口 | |||
溫控特性 | 溫度范圍 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ |
溫控精度 | 溫度分辨率 : 0.01°C | |||
加熱電源 | LVDC 低壓直流 | |||
低控溫速率 | ±0.1°C /小時(shí) | |||
傳感器 | Pt100 | |||
制冷方式 | 液氮制冷 | |||
減震 | 主動(dòng)式減震系統(tǒng),,能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動(dòng) | |||
可選附件 | chuck快速拉出裝置 | |||
顯微鏡傾仰裝置 | ||||
激光修復(fù) | ||||
探針卡夾具 | ||||
光強(qiáng)/波長測(cè)試接口部件 | ||||
加熱臺(tái) | ||||
高低溫樣品臺(tái)(-80~200℃) | ||||
防震桌 | ||||
射頻測(cè)試 | ||||
PCB板夾具 | ||||
液晶熱點(diǎn)偵測(cè)套裝 | ||||
屏蔽箱 | ||||
卡盤鍍金 | ||||
運(yùn)用方向 | 晶圓測(cè)試,功率器件測(cè)試 | |||
特點(diǎn): | ||||
SiC/GaN晶圓測(cè)試 | 超高的測(cè)試精度 | |||
大功率晶圓測(cè)試 | 便捷的儀器接入 | |||
(-60~200℃)高低溫Chuck | 半自動(dòng)測(cè)試 | |||
20~4000X光學(xué)顯微放大 | 可升級(jí)全自動(dòng)測(cè)試 | |||
功能豐富的測(cè)試軟件 | 可升級(jí)射頻測(cè)試 |