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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>集成電路測試與分選設備>探針臺>SHCV-Auto SHCV大功率半自動探針臺

SHCV-Auto SHCV大功率半自動探針臺

參考價 100000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

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深圳市森美協(xié)爾科技有限公司(SEMISHARE)致力半導體技術的共享事業(yè),,專注于促進中國半導體行業(yè)的快速成長,,目標成為半導體行業(yè)*的total solution供應商。目前設有半導體儀器營銷事業(yè)部和半導體設備制造工廠,。SEMISHARE半導體儀器營銷事業(yè)部代理的設備包括半導體檢測設備:SEMISHARE品牌探針臺和激光修復儀,,I-V/C-V參數(shù)測試儀,網絡分析儀,,激光系統(tǒng),,金相顯微鏡,EMMI微光顯微鏡,,X射線,,C-SAM超聲波探測,,電子顯微鏡?。晶圓工藝設備:晶圓鍵合,,去膠,,沉積,等離子刻蝕,,擴散,氧化爐,,勻膠機,光刻機,,磁控濺射機臺,,電子束蒸渡機。SEMISHARE半導體設備制造工廠總資產達5000余萬元,,廠房面積約5000平方米,,現(xiàn)有員工500余人,其中專業(yè)技術人員100余人,,公司擁有*的生產工藝及品控檢測,,主要設備有:壓鑄機、精雕機,、CNC高光機,、光纖激光鐳射機、CD紋機,、批字機,、各種噸位沖床、線割機,、CNC加工中心,、火花機、各噸位塑膠注塑機,、耐磨測試儀,、人工汗測試儀等。2009年,,我們開始研發(fā)制造SEMISHARE品牌探針臺和激光修復設備,,激光器獲得國家*。 目前,,SEMISHARE的產品和解決方案已經應用于中國100多家客戶,,服務中國半導體研發(fā)機構前50強中的40多家。

半導體探針臺,,激光修復,,霍爾效應測試系統(tǒng)

大功率半自動探針臺
型號SHCV-6-AutoSHCV-8-AutoSHCV-12-Auto
外形860mm*850mm*700mm880mm*860mm*750mm 1300mm*920mm*920mm
重量180KG250KG380KG
電力需求AC220V,50~60HZ
Chuck尺寸6inch8inch12inch
X-Y軸行程6*6inch8*8inch12*12inch
X-Y軸移動解析度0.04um/0.1um
X-Y軸重復定位精度±1um
移動速度≥ 50 mm/sec
Z軸行程10mm
Z軸移動解析度0.1um
Z軸重復定位精度±1um
Theta角度行程±15°
Theta角度解析度0.0003°
光柵尺帶光柵尺
樣品固定方式多孔真空吸附,獨立分區(qū)控制
切換樣品功能樣品臺快速拉出
結構同軸高壓設計,鍍金,,電學獨立懸空,,可作為背電極使用
針座平臺規(guī)格O型平臺,多可放置8個針座O型平臺,,多可放置10個針座O型平臺,,多可放置12個針座
行程&調節(jié)方式平臺可以快速升降,行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調,,行程25mm,,升降精度1um
控制方式手動控制盒(可選擇帶操縱桿)
軟件控制
軟件功能wafer map的編輯
儀器的接入
數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示
數(shù)據(jù)的分析
差異數(shù)據(jù)的標定Ink mark
自定義Bin分
自動測試  
通訊接口:RS232/EtherCAT/GPIB等  
大功率規(guī)格配置大功率kelvin樣品臺
大功率夾具線纜
mult-pin 分流探針
大功率保護模塊(針座用)
保護紅外光幕,防止人員誤進入工作區(qū),,觸發(fā)時interlock互鎖
大功率儀器連接模塊
大測試電壓10KV
大測試電流500A(脈沖)
光學特性顯微鏡行程2*2inch
顯微鏡行程1um
放大倍數(shù)20-4000X
CCD像素50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)
點針規(guī)格點針精度10微米/2微米/0.7微米
X-Y-Z行程12mm-12mm-12mm
漏電精度 10pA/100fA
接口形式香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA,,SHV接口
溫控特性溫度范圍﹣100~200℃﹣80~200℃﹣60~200℃
溫控精度溫度分辨率 : 0.01°C
加熱電源LVDC 低壓直流
低控溫速率   ±0.1°C  /小時 
傳感器Pt100
制冷方式液氮制冷
減震主動式減震系統(tǒng),,能夠實現(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動
可選附件chuck快速拉出裝置
顯微鏡傾仰裝置
激光修復
探針卡夾具
光強/波長測試接口部件
加熱臺
高低溫樣品臺(-80~200℃)
防震桌
射頻測試
PCB板夾具
液晶熱點偵測套裝
屏蔽箱
卡盤鍍金
運用方向晶圓測試,,功率器件測試
 
特點:
SiC/GaN晶圓測試超高的測試精度
大功率晶圓測試便捷的儀器接入
(-60~200℃)高低溫Chuck半自動測試
20~4000X光學顯微放大可升級全自動測試
功能豐富的測試軟件可升級射頻測試


 



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