型號 | SHCV-6-Auto | SHCV-8-Auto | SHCV-12-Auto | ||
外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm | ||
重量 | 180KG | 250KG | 380KG | ||
電力需求 | AC220V,50~60HZ | ||||
Chuck | 尺寸 | 6inch | 8inch | 12inch | |
X-Y軸行程 | 6*6inch | 8*8inch | 12*12inch | ||
X-Y軸移動解析度 | 0.04um/0.1um | ||||
X-Y軸重復定位精度 | ±1um | ||||
移動速度 | ≥ 50 mm/sec | ||||
Z軸行程 | 10mm | ||||
Z軸移動解析度 | 0.1um | ||||
Z軸重復定位精度 | ±1um | ||||
Theta角度行程 | ±15° | ||||
Theta角度解析度 | 0.0003° | ||||
光柵尺 | 帶光柵尺 | ||||
樣品固定方式 | 多孔真空吸附,獨立分區(qū)控制 | ||||
切換樣品功能 | 樣品臺快速拉出 | ||||
結(jié)構(gòu) | 同軸高壓設計,,鍍金,電學獨立懸空,,可作為背電極使用 | ||||
針座平臺 | 規(guī)格 | O型平臺,zui多可放置8個針座 | O型平臺,,zui多可放置10個針座 | O型平臺,,zui多可放置12個針座 | |
行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺可以快速升降,,行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調(diào),行程25mm,,升降精度1um |
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控制方式 | 手動控制盒(可選擇帶操縱桿) | ||||
軟件控制 | |||||
軟件功能 | wafer map的編輯 | ||||
儀器的接入 | |||||
數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示 | |||||
數(shù)據(jù)的分析 | |||||
差異數(shù)據(jù)的標定Ink mark | |||||
自定義Bin分 | |||||
自動測試 | |||||
通訊接口:RS232/EtherCAT/GPIB等 | |||||
大功率規(guī)格 | 配置 | 大功率kelvin樣品臺 | |||
大功率夾具線纜 | |||||
mult-pin 分流探針 | |||||
大功率保護模塊(針座用) | |||||
保護紅外光幕,防止人員誤進入工作區(qū),,觸發(fā)時interlock互鎖 | |||||
大功率儀器連接模塊 | |||||
zui大測試電壓 | 10KV | ||||
zui大測試電流 | 500A(脈沖) | ||||
光學特性 | 顯微鏡行程 | 2*2inch | |||
顯微鏡行程 | 1um | ||||
放大倍數(shù) | 20-4000X | ||||
CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | ||||
點針規(guī)格 | 點針精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | |||
X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
漏電精度 | 10pA/100fA | ||||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA,SHV接口 | ||||
溫控特性 | 溫度范圍 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ | |
溫控精度 | 溫度分辨率 : 0.01°C | ||||
加熱電源 | LVDC 低壓直流 | ||||
zui低控溫速率 | ±0.1°C /小時 | ||||
傳感器 | Pt100 | ||||
制冷方式 | 液氮制冷 | ||||
減震 | 主動式減震系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動 | ||||
可選附件 | chuck快速拉出裝置 | ||||
顯微鏡傾仰裝置 | |||||
激光修復 | |||||
探針卡夾具 | |||||
光強/波長測試接口部件 | |||||
加熱臺 | |||||
高低溫樣品臺(-80~200℃) | |||||
防震桌 | |||||
射頻測試 | |||||
PCB板夾具 | |||||
液晶熱點偵測套裝 | |||||
屏蔽箱 | |||||
卡盤鍍金 | |||||
運用方向 | 晶圓自動測試,,功率器件自動測試 | ||||