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SHCV系列 SHCV系列半自動探針臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

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深圳市森美協(xié)爾科技有限公司(SEMISHARE)致力半導體技術的共享事業(yè),,專注于促進中國半導體行業(yè)的快速成長,目標成為半導體行業(yè)*的total solution供應商,。目前設有半導體儀器營銷事業(yè)部和半導體設備制造工廠。SEMISHARE半導體儀器營銷事業(yè)部代理的設備包括半導體檢測設備:SEMISHARE品牌探針臺和激光修復儀,,I-V/C-V參數(shù)測試儀,網(wǎng)絡分析儀,,激光系統(tǒng),金相顯微鏡,,EMMI微光顯微鏡,X射線,,C-SAM超聲波探測,,電子顯微鏡?,。晶圓工藝設備:晶圓鍵合,去膠,,沉積,,等離子刻蝕,擴散,氧化爐,,勻膠機,,光刻機,,磁控濺射機臺,電子束蒸渡機,。SEMISHARE半導體設備制造工廠總資產(chǎn)達5000余萬元,,廠房面積約5000平方米,,現(xiàn)有員工500余人,其中專業(yè)技術人員100余人,,公司擁有*的生產(chǎn)工藝及品控檢測,主要設備有:壓鑄機,、精雕機、CNC高光機,、光纖激光鐳射機、CD紋機,、批字機、各種噸位沖床,、線割機,、CNC加工中心,、火花機、各噸位塑膠注塑機,、耐磨測試儀、人工汗測試儀等,。2009年,,我們開始研發(fā)制造SEMISHARE品牌探針臺和激光修復設備,激光器獲得國家*,。 目前,,SEMISHARE的產(chǎn)品和解決方案已經(jīng)應用于中國100多家客戶,服務中國半導體研發(fā)機構(gòu)前50強中的40多家,。

半導體探針臺,激光修復,,霍爾效應測試系統(tǒng)

型號

SHCV-6-Auto

SHCV-8-Auto

SHCV-12-Auto

 

外形

860mm*850mm*700mm

880mm*860mm*750mm

 1300mm*920mm*920mm

 

重量

180KG

250KG

380KG

 

電力需求

AC220V,50~60HZ

 

Chuck

尺寸

6inch

8inch

12inch

 

X-Y軸行程

6*6inch

8*8inch

12*12inch

 

X-Y軸移動解析度

0.04um/0.1um

 

X-Y軸重復定位精度

±1um

 

移動速度

≥ 50 mm/sec

 

Z軸行程

10mm

 

Z軸移動解析度

0.1um

 

Z軸重復定位精度

±1um

 

Theta角度行程

±15°

 

Theta角度解析度

0.0003°

 

光柵尺

帶光柵尺

 

樣品固定方式

多孔真空吸附,獨立分區(qū)控制

 

切換樣品功能

樣品臺快速拉出

 

結(jié)構(gòu)

同軸高壓設計,,鍍金,電學獨立懸空,,可作為背電極使用

 

針座平臺

規(guī)格

O型平臺,zui多可放置8個針座

O型平臺,,zui多可放置10個針座

O型平臺,,zui多可放置12個針座

 

行程&調(diào)節(jié)方式

平臺可以快速升降,,行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調(diào),行程25mm,,升降精度1um

 

 

控制方式

手動控制盒(可選擇帶操縱桿)

 

軟件控制

 

軟件功能

wafer map的編輯

 

儀器的接入

 

數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示

 

數(shù)據(jù)的分析

 

差異數(shù)據(jù)的標定Ink mark

 

自定義Bin

 

自動測試

 

通訊接口:RS232/EtherCAT/GPIB

 

大功率規(guī)格

配置

大功率kelvin樣品臺

 

大功率夾具線纜

 

mult-pin 分流探針

 

大功率保護模塊(針座用)

 

保護紅外光幕,防止人員誤進入工作區(qū),,觸發(fā)時interlock互鎖

 

大功率儀器連接模塊

 

zui大測試電壓

10KV

 

zui大測試電流

500A(脈沖)

 

光學特性

顯微鏡行程

2*2inch

 

顯微鏡行程

1um

 

放大倍數(shù)

20-4000X

 

CCD像素

50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)

 

點針規(guī)格

點針精度

10微米/2微米/0.7微米

 

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

 

漏電精度 

10pA/100fA

 

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMASHV接口

 

溫控特性

溫度范圍

100~200

80~200

60~200

 

溫控精度

溫度分辨率  0.01°C

 

加熱電源

LVDC 低壓直流

 

zui低控溫速率   

±0.1°C  /小時 

 

傳感器

Pt100

 

制冷方式

液氮制冷

 

減震

主動式減震系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動

 

可選附件

chuck快速拉出裝置

 

顯微鏡傾仰裝置

 

激光修復

 

探針卡夾具

 

光強/波長測試接口部件

 

加熱臺

 

高低溫樣品臺(-80~200)

 

防震桌

 

射頻測試

 

PCB板夾具

 

液晶熱點偵測套裝

 

屏蔽箱

 

卡盤鍍金

 

運用方向

晶圓自動測試,,功率器件自動測試

 
 


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