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SHCV系列 SHCV系列半自動(dòng)探針臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市森美協(xié)爾科技有限公司(SEMISHARE)致力半導(dǎo)體技術(shù)的共享事業(yè),,專注于促進(jìn)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的快速成長(zhǎng),目標(biāo)成為半導(dǎo)體行業(yè)*的total solution供應(yīng)商,。目前設(shè)有半導(dǎo)體儀器營(yíng)銷事業(yè)部和半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠,。SEMISHARE半導(dǎo)體儀器營(yíng)銷事業(yè)部代理的設(shè)備包括半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備:SEMISHARE品牌探針臺(tái)和激光修復(fù)儀,I-V/C-V參數(shù)測(cè)試儀,,網(wǎng)絡(luò)分析儀,,激光系統(tǒng),金相顯微鏡,,EMMI微光顯微鏡,,X射線,C-SAM超聲波探測(cè),,電子顯微鏡?,。晶圓工藝設(shè)備:晶圓鍵合,去膠,,沉積,等離子刻蝕,,擴(kuò)散,氧化爐,,勻膠機(jī),光刻機(jī),,磁控濺射機(jī)臺(tái),,電子束蒸渡機(jī),。SEMISHARE半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠總資產(chǎn)達(dá)5000余萬(wàn)元,廠房面積約5000平方米,,現(xiàn)有員工500余人,,其中專業(yè)技術(shù)人員100余人,公司擁有*的生產(chǎn)工藝及品控檢測(cè),,主要設(shè)備有:壓鑄機(jī),、精雕機(jī)、CNC高光機(jī),、光纖激光鐳射機(jī),、CD紋機(jī)、批字機(jī),、各種噸位沖床,、線割機(jī)、CNC加工中心,、火花機(jī),、各噸位塑膠注塑機(jī)、耐磨測(cè)試儀,、人工汗測(cè)試儀等,。2009年,我們開(kāi)始研發(fā)制造SEMISHARE品牌探針臺(tái)和激光修復(fù)設(shè)備,,激光器獲得國(guó)家*,。 目前,SEMISHARE的產(chǎn)品和解決方案已經(jīng)應(yīng)用于中國(guó)100多家客戶,,服務(wù)中國(guó)半導(dǎo)體研發(fā)機(jī)構(gòu)前50強(qiáng)中的40多家,。

半導(dǎo)體探針臺(tái),激光修復(fù),,霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)

型號(hào)

SHCV-6-Auto

SHCV-8-Auto

SHCV-12-Auto

 

外形

860mm*850mm*700mm

880mm*860mm*750mm

 1300mm*920mm*920mm

 

重量

180KG

250KG

380KG

 

電力需求

AC220V,50~60HZ

 

Chuck

尺寸

6inch

8inch

12inch

 

X-Y軸行程

6*6inch

8*8inch

12*12inch

 

X-Y軸移動(dòng)解析度

0.04um/0.1um

 

X-Y軸重復(fù)定位精度

±1um

 

移動(dòng)速度

≥ 50 mm/sec

 

Z軸行程

10mm

 

Z軸移動(dòng)解析度

0.1um

 

Z軸重復(fù)定位精度

±1um

 

Theta角度行程

±15°

 

Theta角度解析度

0.0003°

 

光柵尺

帶光柵尺

 

樣品固定方式

多孔真空吸附,,獨(dú)立分區(qū)控制

 

切換樣品功能

樣品臺(tái)快速拉出

 

結(jié)構(gòu)

同軸高壓設(shè)計(jì),鍍金,,電學(xué)獨(dú)立懸空,,可作為背電極使用

 

針座平臺(tái)

規(guī)格

O型平臺(tái),zui多可放置8個(gè)針座

O型平臺(tái),,zui多可放置10個(gè)針座

O型平臺(tái),,zui多可放置12個(gè)針座

 

行程&調(diào)節(jié)方式

平臺(tái)可以快速升降,行程 6mm并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào),,行程25mm,,升降精度1um

 

 

控制方式

手動(dòng)控制盒(可選擇帶操縱桿)

 

軟件控制

 

軟件功能

wafer map的編輯

 

儀器的接入

 

數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示

 

數(shù)據(jù)的分析

 

差異數(shù)據(jù)的標(biāo)定Ink mark

 

自定義Bin

 

自動(dòng)測(cè)試

 

通訊接口:RS232/EtherCAT/GPIB

 

大功率規(guī)格

配置

大功率kelvin樣品臺(tái)

 

大功率夾具線纜

 

mult-pin 分流探針

 

大功率保護(hù)模塊(針座用)

 

保護(hù)紅外光幕,防止人員誤進(jìn)入工作區(qū),觸發(fā)時(shí)interlock互鎖

 

大功率儀器連接模塊

 

zui大測(cè)試電壓

10KV

 

zui大測(cè)試電流

500A(脈沖)

 

光學(xué)特性

顯微鏡行程

2*2inch

 

顯微鏡行程

1um

 

放大倍數(shù)

20-4000X

 

CCD像素

50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)

 

點(diǎn)針規(guī)格

點(diǎn)針精度

10微米/2微米/0.7微米

 

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

 

漏電精度 

10pA/100fA

 

接口形式

香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸/SMA,,SHV接口

 

溫控特性

溫度范圍

100~200

80~200

60~200

 

溫控精度

溫度分辨率  0.01°C

 

加熱電源

LVDC 低壓直流

 

zui低控溫速率   

±0.1°C  /小時(shí) 

 

傳感器

Pt100

 

制冷方式

液氮制冷

 

減震

主動(dòng)式減震系統(tǒng),,能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫(huà)面不抖動(dòng)

 

可選附件

chuck快速拉出裝置

 

顯微鏡傾仰裝置

 

激光修復(fù)

 

探針卡夾具

 

光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件

 

加熱臺(tái)

 

高低溫樣品臺(tái)(-80~200)

 

防震桌

 

射頻測(cè)試

 

PCB板夾具

 

液晶熱點(diǎn)偵測(cè)套裝

 

屏蔽箱

 

卡盤(pán)鍍金

 

運(yùn)用方向

晶圓自動(dòng)測(cè)試,功率器件自動(dòng)測(cè)試

 
 


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