開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置,，用于測量導體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential),。

材料表面的功函數(shù)通常由zui上層的1-3層原子或分子決定,，所以開爾文探針是一種zui靈敏的表面分析技術(shù)。

我們的開爾文探針系統(tǒng)包括：

□單點開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境),；

□掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境),；

□超高真空(UHV)開爾文探針；

□濕度控制的腐蝕開爾文探針,；

掃描開爾文探針系統(tǒng) (ASKP)

ASKP系統(tǒng)是一款可以被大多數(shù)客戶所接收的掃描開爾文探針系統(tǒng),，它是在SKP基礎(chǔ)之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針,、外部數(shù)字示波鏡等配置,，其規(guī)格如下：

□2毫米，50微米探針,；

□功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖),，5-10 meV(50微米針尖)；

□針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內(nèi),；

□表面勢和樣品形貌3維地圖,；

□探針掃描或樣品掃描選配；

□彩色相機,、調(diào)焦鏡頭,、TFT顯示器和專業(yè)的光學固定裝置；

□參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統(tǒng)的形貌),；

□備用的針尖放大器,；

□24個月超長質(zhì)保期；

儀器的特色

□*臺商用的*意義上的開爾文探針系統(tǒng),；

□zui高分辨率的功函數(shù)和表面勢,，的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)重現(xiàn)性；

□非零技術(shù)(Off-null,ON) ——ON信號探測系統(tǒng)在高信號水平下工作,，與基于零信號原理(null-based,LIA)的系統(tǒng)相比,，不會收到噪聲的影響擁有高靈敏度,；

□高度調(diào)節(jié)技術(shù) ——我們的儀器在測量和掃描時可以控制針尖的高度。因為功函數(shù)受樣品形貌的影響,，針尖與樣品表面距離的調(diào)節(jié)意味著數(shù)據(jù)的高重現(xiàn)性且不會漂移,；

□該領(lǐng)域內(nèi)，擁有的信噪比,；

□快速響應時間 ——測量速度在0.1-10秒間,，遠快于其他公司產(chǎn)品；

□功能強的驅(qū)動器 ——選用Voice-coil(VC)驅(qū)動器,，與通常的壓電驅(qū)動器相比,，VC驅(qū)動器頻率要穩(wěn)定得多、控制的針尖振幅大得多,、支持平行多探針操作,、支持不同直徑探針操作；

□所有開爾文探針參數(shù)的全數(shù)字控制,；