探針臺(tái)應(yīng)用技術(shù)

來源：北京錦正茂科技有限公司 2020年08月11日 09:56

三維磁場(chǎng)探針臺(tái)選型注意事項(xiàng)：

※大需要測(cè)幾inch的晶圓或者器件,！是否需要測(cè)試破片或者單顆芯片！小的單顆芯片尺寸,！

※探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高,！

※點(diǎn)測(cè)樣品的電極尺寸！100μm *100μm或60μm *60μm的pad,，還是FIB制作的mini pad,，或者ic內(nèi)部的metal線路！

※多需要幾個(gè)探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè),！

※是否會(huì)用到探針卡測(cè)試,！

※光學(xué)顯微鏡的小分辨率需要用到多少！

※顯微鏡方面,，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè),！

※探針點(diǎn)測(cè)時(shí)，對(duì)電流的要求是否達(dá)到100fa或者以下,！低

電容要求是否要做到0.1pf,！是否有射頻需求！

※接駁的測(cè)試儀器接口有哪些,！

※測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫,！是否需要密閉腔體！

※對(duì)chuck的漏電要求怎樣,！是否需要添加低阻抗chuck,！

※是否需要防震桌！

※若添置防震桌,，是否有壓縮空氣,！

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