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探針臺(tái)應(yīng)用技術(shù)

來(lái)源:北京錦正茂科技有限公司   2020年08月11日 09:56  

探針臺(tái)應(yīng)用技術(shù)

三維磁場(chǎng)探針臺(tái)選型注意事項(xiàng):

※大需要測(cè)幾inch的晶圓或者器件!是否需要測(cè)試破片或者單顆芯片,!小的單顆芯片尺寸!

※探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高!

※點(diǎn)測(cè)樣品的電極尺寸,!100μm *100μm或60μm *60μm的pad,,還是FIB制作的mini pad,或者ic內(nèi)部的metal線路,!

※多需要幾個(gè)探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè),!

※是否會(huì)用到探針卡測(cè)試!

※光學(xué)顯微鏡的小分辨率需要用到多少,!

※顯微鏡方面,,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)!

※探針點(diǎn)測(cè)時(shí),,對(duì)電流的要求是否達(dá)到100fa或者以下,!低

電容要求是否要做到0.1pf!是否有射頻需求,!

※接駁的測(cè)試儀器接口有哪些,!

※測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫! 是否需要密閉腔體,!

※對(duì)chuck的漏電要求怎樣,!是否需要添加低阻抗chuck!

※是否需要防震桌,!

※若添置防震桌,,是否有壓縮空氣!

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