探針臺技術(shù)指導(dǎo)

來源：北京錦正茂科技有限公司 2020年08月11日 09:54

選型注意事項：

※大需要測幾inch的晶圓或者器件,！是否需要測試破片或者單顆芯片,！小的單顆芯片尺寸！

※探針臺機械精度要求多高,！

※點測樣品的電極尺寸,！100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad,，或者ic內(nèi)部的metal線路,！

※多需要幾個探針同時去點測！

※是否會用到探針卡測試,！

※光學(xué)顯微鏡的小分辨率需要用到多少,！

※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測,！

※探針點測時,，對電流的要求是否達到100fa或者以下,！低

電容要求是否要做到0.1pf！是否有射頻需求,！

※接駁的測試儀器接口有哪些,！

※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫！是否需要密閉腔體,！

※對chuck的漏電要求怎樣！是否需要添加低阻抗chuck,！

※是否需要防震桌,！

※若添置防震桌，是否有壓縮空氣,！

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