腔室材料是硬質(zhì)陽極氧化鋁,， 有幾種不同的電極設(shè)計，包括用于反應(yīng)離子刻蝕（RIE）和平面處理的水冷平板電極,，用于表面清洗或處理的交替多層托盤電極,，用于小化離子損傷的下游電極，和用于普通的圓柱形籠式電極,。

1,、腔體尺寸：直徑≥200mm，深度≥280mm,；

2,、腔體材質(zhì)：硬質(zhì)陽極氧化鋁矩形腔體；

3,、處理腔背面材質(zhì)：鋁,；

4,、處理腔門：要求全自動腔門；

5,、兩路工藝氣體,，≥2路質(zhì)量流量控制器控制氣體流量，氣體輸入腔室?guī)蛄髟O(shè)計,；

6,、射頻功率：0~600W連續(xù)可調(diào)，13.56MHz,，自動匹配,，自然風(fēng)冷；

7,、配備RIE平面水冷平板電極,；

8、7英寸及以上顯示器,、觸摸屏,、圖形用戶界面； 

9,、程序控制：觸摸屏電腦控制,，無線程序存儲；

10,、Windows操作系統(tǒng),，兼容Windows office軟件，USB接口,，可進(jìn)行外部電腦遠(yuǎn)程控制的功能,；

11、狀態(tài)和出錯信息提示,，過程數(shù)據(jù)和出錯信息存儲,，可選擇自動和手動操作模式，過程數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出,，工藝參數(shù)以圖形方式呈現(xiàn),，可實時監(jiān)控，自動實現(xiàn)泄露檢測,；

12,、配套緊急急停按鈕（EMO)，配套電路斷路器,，機(jī)械聯(lián)鎖（門傳感器）和真空聯(lián)鎖（壓力開關(guān)）,，通過軟件可進(jìn)行遠(yuǎn)程的真空聯(lián)鎖；

13,、典型的光刻膠刻蝕速率：80nm/min,；

14,、典型工藝均勻性：≥±10%；