腔室材料是硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁， 有幾種不同的電極設(shè)計(jì),，包括用于反應(yīng)離子刻蝕（RIE）和平面處理的水冷平板電極,，用于表面清洗或處理的交替多層托盤(pán)電極,，用于小化離子損傷的下游電極,，和用于普通的圓柱形籠式電極。

1,、腔體尺寸：直徑≥200mm,，深度≥280mm；

2,、腔體材質(zhì)：硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁矩形腔體,；

3、處理腔背面材質(zhì)：鋁,；

4,、處理腔門(mén)：要求全自動(dòng)腔門(mén)；

5,、兩路工藝氣體,，≥2路質(zhì)量流量控制器控制氣體流量，氣體輸入腔室?guī)蛄髟O(shè)計(jì),；

6,、射頻功率：0~600W連續(xù)可調(diào)，13.56MHz,，自動(dòng)匹配,，自然風(fēng)冷；

7,、配備RIE平面水冷平板電極,；

8、7英寸及以上顯示器,、觸摸屏,、圖形用戶界面,； 

9、程序控制：觸摸屏電腦控制,，無(wú)線程序存儲(chǔ),；

10、Windows操作系統(tǒng),，兼容Windows office軟件,，USB接口，可進(jìn)行外部電腦遠(yuǎn)程控制的功能,；

11,、狀態(tài)和出錯(cuò)信息提示，過(guò)程數(shù)據(jù)和出錯(cuò)信息存儲(chǔ),，可選擇自動(dòng)和手動(dòng)操作模式,，過(guò)程數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出，工藝參數(shù)以圖形方式呈現(xiàn),，可實(shí)時(shí)監(jiān)控,，自動(dòng)實(shí)現(xiàn)泄露檢測(cè)；

12,、配套緊急急停按鈕（EMO),，配套電路斷路器，機(jī)械聯(lián)鎖（門(mén)傳感器）和真空聯(lián)鎖（壓力開(kāi)關(guān)）,，通過(guò)軟件可進(jìn)行遠(yuǎn)程的真空聯(lián)鎖,；

13、典型的光刻膠刻蝕速率：80nm/min,；

14,、典型工藝均勻性：≥±10%；