PlasmaStar 200/200 RIE 等離子刻蝕機(jī)
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 PlasmaStar 200/200 RIE
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/7/1 10:32:06
- 訪問次數(shù) 6595
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勻膠機(jī),,光刻機(jī),,顯影機(jī),等離子清洗機(jī),,紫外臭氧清洗機(jī),紫外固化箱,,壓片機(jī),,等離子去膠機(jī),刻蝕機(jī),,加熱板
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
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型號: 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaStar 200/200RIE
產(chǎn)地: 美國
品牌: Axic
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技術(shù)規(guī)格:
型號 | PlasmaStar 100 | PlasmaStar 100RIE | PlasmaStar 200 | PlasmaStar 200RIE |
艙體尺寸 | 直徑254×深度356mm | 直徑200×深度280mm | 寬305×高305×深406mm | 寬305 ×高200×深406mm |
艙體材質(zhì) | 標(biāo)配為陽極氧化鋁艙體 | |||
常用氣體 | 空氣,,氧氣,,氫氣,氬氣,,氮氣,,CF4,SF6等和其他混合氣體 | |||
氣路控制 | 標(biāo)配2路MFC,,PlasmaStar 100多可選配4路,, | 標(biāo)配2路MFC,PlasmaStar 200多可選配5路,; | ||
控制系統(tǒng) | 電阻觸摸屏操作界面 | |||
程序控制 | PC觸屏控制,,可編程序,無線存儲數(shù)據(jù) | |||
射頻頻率 | 13.56 MHz | |||
射頻功率 | 0~600W瓦之間距連續(xù)可調(diào),,自動匹配 | 0~1000W瓦之間距連續(xù)可調(diào),,自動匹配 | ||
電極設(shè)計 | 標(biāo)準(zhǔn)圓柱形籠式電極; | 標(biāo)準(zhǔn)圓柱形籠式電極,; 可選交替多層托盤電極,; 可選RIE平面處理水冷平板電極 | ||
設(shè)備尺寸 | 寬800 x 深850 x 高525mm,; | 寬1033 x 深850 x 高635mm; |