PlasmaStar 200/200 RIE 等離子刻蝕機(jī)
- 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 PlasmaStar 200/200 RIE
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/7/1 10:32:06
- 訪問次數(shù) 6595
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勻膠機(jī),，光刻機(jī),，顯影機(jī)，等離子清洗機(jī),，紫外臭氧清洗機(jī)，紫外固化箱,，壓片機(jī),，等離子去膠機(jī)，刻蝕機(jī),，加熱板
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
|---|
型號： 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaStar 200/200RIE
產(chǎn)地： 美國
品牌： Axic
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技術(shù)規(guī)格：
型號 | PlasmaStar 100 | PlasmaStar 100RIE | PlasmaStar 200 | PlasmaStar 200RIE |
艙體尺寸 | 直徑254×深度356mm | 直徑200×深度280mm | 寬305×高305×深406mm | 寬305 ×高200×深406mm |
艙體材質(zhì) | 標(biāo)配為陽極氧化鋁艙體 | |||
常用氣體 | 空氣,，氧氣,，氫氣，氬氣,，氮氣,，CF4，SF6等和其他混合氣體 | |||
氣路控制 | 標(biāo)配2路MFC,，PlasmaStar 100多可選配4路,， | 標(biāo)配2路MFC，PlasmaStar 200多可選配5路,； | ||
控制系統(tǒng) | 電阻觸摸屏操作界面 | |||
程序控制 | PC觸屏控制,，可編程序，無線存儲數(shù)據(jù) | |||
射頻頻率 | 13.56 MHz | |||
射頻功率 | 0~600W瓦之間距連續(xù)可調(diào),，自動匹配 | 0~1000W瓦之間距連續(xù)可調(diào),，自動匹配 | ||
電極設(shè)計 | 標(biāo)準(zhǔn)圓柱形籠式電極； | 標(biāo)準(zhǔn)圓柱形籠式電極,； 可選交替多層托盤電極,； 可選RIE平面處理水冷平板電極 | ||
設(shè)備尺寸 | 寬800 x 深850 x 高525mm,； | 寬1033 x 深850 x 高635mm； | ||
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