KLOCKE 納米級三維測量儀
- 公司名稱 北京匯德信科技有限公司
- 品牌
- 型號 KLOCKE
- 產(chǎn)地 德國
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2016/9/28 9:17:04
- 訪問次數(shù) 708
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分子束外延系統(tǒng),脈沖激光沉積系統(tǒng),電子束光刻/聚焦離子束系統(tǒng),紫外光刻機,去膠機,寬頻介電阻抗譜儀,三維表面形貌儀,納米壓印模板,光刻膠等
KLOCKE納米級三維測量儀 |
KLOCKE納米級三維測量儀介紹 |
德國Klocke公司的Nanofinger是一種兼具原子量級分辨率和厘米級線性行程的納米定位與測量系統(tǒng),系統(tǒng)測量范圍大,,且具有*的空間三維精度,。可在50mm x 50mm x20mm的空間范圍內(nèi)實現(xiàn)分辨率1nm的三維坐標測量,,跨越8個數(shù)量級,。
該設備的除涵蓋一般輪廓、形貌測量設備的功能外,,zui突出的特點是可以進行三維高精度坐標測量,,這是其他設備無法做到的。與普通的三坐標測量相比,,該設備的測量精度,、分辨率要高出幾個數(shù)量級。
整個3D Nanofinger系統(tǒng)由臺架,、控制系統(tǒng),、探頭、針尖組成,。
系統(tǒng)控制單元控制探針沿樣品表面移動,,以測量形貌、粗糙度,、尺寸,。操作者可根據(jù)需要設定參數(shù),如探頭移動的步長,,選擇,、制定自己的測試模式,以使測量長度,、速度,、路徑、分辨率達到*化,。
系統(tǒng)的數(shù)據(jù)處理能力非常強,,可得到多種參數(shù),包括形貌,、粗糙度,、坐標尺寸等。同時,,系統(tǒng)有自動控制能力,,可以和超精密微加工、微組裝系統(tǒng)組合,,例如為微加工系統(tǒng)提供在線檢測,,以隨時控制加工質(zhì)量,。
應用于MEMS微機械、半導體微電子,、光學,、分子生物學和精密工程,提供大范圍,、納米精度的定位,、操縱、處理和測量,。還可用于微小零件,、*、模具的精密測量,。
KLOCKE主要特點
1.納米精度測量,,而且是三維方向都可保持統(tǒng)一的精度。 |