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LAwave楊氏模量無(wú)損測(cè)量系統(tǒng)
- 公司名稱 北京匯德信科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2016/9/27 11:04:01
- 訪問次數(shù) 552
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分子束外延系統(tǒng),脈沖激光沉積系統(tǒng),電子束光刻/聚焦離子束系統(tǒng),紫外光刻機(jī),去膠機(jī),寬頻介電阻抗譜儀,三維表面形貌儀,納米壓印模板,光刻膠等
LAwave楊氏模量無(wú)損測(cè)量系統(tǒng),技術(shù)源于德國(guó)Fraunhofer IWS研究所,。利用激光脈沖在薄膜或材料表面激發(fā)起表面聲波,表面聲波在不同材料中的傳播速度不同,,可以通過(guò)檢測(cè)表面聲波的波速實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜或者材料硬度(楊氏模量/彈性模量)、密度和膜厚的測(cè)量,。
LAwave楊氏模量無(wú)損測(cè)量系統(tǒng)
表面聲波波速的色散關(guān)系由薄膜與襯底的彈性模量(楊氏模量)、密度和厚度決定,。將聲波探測(cè)器探測(cè)聲波波速的色散關(guān)系與理論模型計(jì)算的色散關(guān)系對(duì)比,,就可以得出薄膜的楊氏模量,、密度和厚度等信息。也可以測(cè)量表面有微結(jié)構(gòu)的薄膜和非均勻結(jié)構(gòu)薄膜,。
測(cè)量原理示意圖
主要特性:
- 無(wú)損測(cè)量薄膜的厚度可以從幾納米到幾百微米
- 檢測(cè)材料范圍廣,從聚合物到金剛石
- 操作簡(jiǎn)單方便,,測(cè)量速度快
- zui小檢測(cè)面積:5x5mm
- 可測(cè)量多孔薄膜,表面有微納結(jié)構(gòu)的薄膜
- 認(rèn)證測(cè)量結(jié)果
主要應(yīng)用領(lǐng)域:
超薄超硬薄膜--防護(hù)評(píng)估
多孔聚合物薄膜--楊氏模量,、密度優(yōu)化
熱噴涂涂層--空隙形態(tài)評(píng)估
半導(dǎo)體,、LED,、光伏產(chǎn)業(yè)晶圓片--亞表面損傷探測(cè)
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