產(chǎn)品型號

  4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

主要特點

  1,、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命,。

  2,、輝光放電等離子體中電子密度可達109-1012cm³。

  3,、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,。

  4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計,，可準(zhǔn)確地控制氣體流量,。

  5、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥,。

  6,、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分，可手動控制混合氣體的輸入,。

  7,、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1,、電源：AC220V  4KW

  2,、爐管：Φ50mm，Φ60mm,，Φ80mm都可用

  3,、溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

  4、加熱區(qū)：440mm

  5,、恒溫區(qū)：150mm

  等離子射頻電源

  1,、輸入功率：AC220V  1KW

  2、輸出功率：50-500W可調(diào),，±1%

  3,、RF頻率：13.56MHz可調(diào),，±0.005%穩(wěn)定

  4、噪聲：≤55DB

  5,、冷卻：風(fēng)冷

  真空泵和質(zhì)量流量計

  1,、真空度：10^-3torr

  2、波紋管：KF25系列

  3,、質(zhì)量流量計：0-200,，誤差0.02%，進氣口采用標(biāo)準(zhǔn)雙卡頭

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm,，供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm

  重量：120kg

可選配件

  防腐型數(shù)字式真空計