產(chǎn)品型號(hào)

  高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

主要特點(diǎn)

  1,、雙層Al₂O₃纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風(fēng)冷,。

  2,、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命,。

  3,、PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序,，并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能,。

  4、已通過CE認(rèn)證,。

技術(shù)參數(shù)

  1,、電源：單相208-240V AC  50/60Hz  10KW

  2、石英管：外徑Φ110mm,，內(nèi)徑Φ103mm,，長380mm

  3、加熱元件：8根紅外燈管,，燈絲長200mm,，絲圈Φ10mm，燈長300mm

  4,、加熱區(qū)：300mm

  5,、工作溫度：zui高溫度1100℃

  6、控溫精度：±0.5℃

  7,、zui高升溫速度：RT-800℃時(shí)為50℃/s,，800℃-1000℃時(shí)為10℃/s

  8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動(dòng)控制

  9,、真空法蘭：不銹鋼,，帶有水冷接口和針閥,，雙層高溫O型圈密封，長時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水　 　 　 　 　         冷,，循環(huán)水流量為0.5m³/hr

  10,、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵），10^-5torr（分子泵）

  11,、質(zhì)量流量計(jì)：3個(gè),，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm,，MFC3范圍0-500sccm,，精度1±%FS

  12、混氣罐：Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：爐體760mm×330mm×530mm,，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

  重量：爐體45kg,，真空混氣系統(tǒng)75kg