產(chǎn)品型號

  帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

主要特點

  1、雙層殼體,，配有冷系統(tǒng),，爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。

  2,、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,，可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。

  3,、一端法蘭配有滑軌,，便于樣品裝卸,；另一端法蘭裝有數(shù)字真空計。

  4,、采用三個獨立PID控制器 ,，可以設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶保護功能,。

  5,、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1,、電源：單相AC 208-240V   50/60Hz  7KW （40A保險絲）

  2,、石英管：外徑Φ125mm，內(nèi)徑120mm,，長1400mm,，帶有一對真空密封法蘭

  3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

  4,、加熱區(qū)域：溫區(qū)I長229mm,，溫區(qū)II長457mm，溫區(qū)III長229mm,，總長915mm

  5,、恒溫區(qū)域：三個溫區(qū)為同一溫度時為625mm，溫區(qū)II為110mm

  6,、工作溫度：zui高1200℃,，連續(xù)工作1100℃

  7、zui大升降溫速率：20℃/min

  8,、控溫精度：±1℃

  9,、熱電偶：K型

  10、浮子流量計：3個,，量程0-100ml/min,、0-160ml/min、0-250ml/min

  11,、數(shù)字真空計：10^-4torr

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：管式爐1080mm×430mm×600mm,；重量：70kg