三維形貌儀、三維輪廓儀,、形貌儀,、輪廓儀、粗糙度儀,、輪廓度儀,、臺階儀、平面度儀,、非接觸式輪廓儀,、非接觸式形貌儀、白光干涉形貌儀,、白光干涉輪廓儀,、白光干涉臺階儀,、白光干涉粗糙度儀,、激光共焦式臺階儀、激光共焦式粗糙度儀,、接觸式臺階儀,、接觸式粗糙度儀,、非接觸式臺階儀、非接觸式粗糙度儀,、激光雷達(dá),、膜厚測量儀、光線陀螺,、慣導(dǎo)傳感器,摩擦磨損試驗(yàn)機(jī),，劃痕儀，納米壓痕儀,，納米劃痕儀,，微米劃痕儀
1、常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的*結(jié)合
2,、雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描）,，即使在長程測量時也可以得到*化的小區(qū)域三維測圖
3、針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式,，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm,。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
4,、在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察
5,、針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率?。▃ui?。?１nm ）
6、軟件設(shè)置恒定微力接觸
7,、簡單的2步關(guān)鍵操作,，友好的軟件操作界面
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