NanoMap-D三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款測量計量型設(shè)備,。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測,。 該款儀器可以看做是表面研究的萬用表,，采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設(shè)計特點，彌補兩種模式的局限,，發(fā)揮表面形貌儀的測量極限,。光學(xué)非接觸式有速度快，直接三維成象,，不破壞樣品等特點,。探針接觸模式方便快捷，制樣簡單,，測量材料廣泛,。兩種模式相結(jié)合可以對更多形狀、性狀,、材質(zhì)的試樣進(jìn)行表面形貌的研究,。

三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料,、聚合物材料,、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度,，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...）,，三維粗糙度（Sa,Sq,Smax）,，劃痕截面面積，劃痕體積,，磨損面積,，磨損體積，磨損深度,，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量,。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀,。將帶入了另一個高精度測量的新時代,。

測量表面可以覆蓋90%以上材料表面。設(shè)備傳感器精度高,，穩(wěn)定性好,，材料應(yīng)用面廣。熱噪聲是同類產(chǎn)品zui低的,。垂直分辨率可達(dá)0.01 nm （ phase-shift mode） 可測跨學(xué)科、跨領(lǐng)域的各種樣品表面,，包括透明,、金屬材料，半透明,、高漫反射,，低反射率、拋光,、粗糙材料（金屬,、玻璃、木頭,、合成材料,、光學(xué)材料、塑料,、涂層,、涂料、漆,、紙,、皮膚、頭發(fā),、牙齒…）,；
1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,波紋度，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析,，晶粒分析等 
2、二維圖像分析：距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等 
3,、表界面測量：透明表面形貌,薄膜厚度,，透明薄膜下的表面 
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量 
5,、劃痕形貌,，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量 
6,、微電子表面分析和MEMS表征

的主要特點：
高精度 
· 的縱向分辨率：0.1 nm （ 接觸式）,；2 nm（光學(xué)非接觸式） 
· 對周圍環(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性 
· 沒有機(jī)械過濾 
寬闊的垂直測量范圍 
· 多種選擇光學(xué)頭及接觸式 
· 縱向掃描范圍 300 to 3900 μm 
· 圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi) 
試用于幾乎所有的表面 
· 透明，不透明,，反射光強(qiáng)等多種材料 
· 垂直臺階,，高寬深比，隆起,，孔洞 
· 脆性的材料,，軟材料，柔性材料表面 
· 尖銳的,，堅硬的,，磨損的表面 
適應(yīng)性強(qiáng) 
· 白光光源，人體安全設(shè)計,，長壽命白光LED 免維護(hù),。可以用于各種環(huán)境的實驗室,，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境,。 
· 接觸式和非接觸式技術(shù)的*結(jié)合 
· 接觸式針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm,。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm,。 
· 在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察 
· 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍