Nanothi 100技術(shù)規(guī)格

可測薄膜

可測膜層 Oxide,、Nitride、BPSG,、PR,、PI、Polymer,、Polysilicon,、ITO等
膜層結(jié)構(gòu) Oxide/Si、PR/Si、Nitride/Si,、Polysilicon/Oxide/Si 等單,、多層結(jié)構(gòu)
測量參數(shù) T，N,，K,，R
測量范圍 25nm - 20?m （Oxide/Si）

硬件規(guī)格

光譜范圍 400-800nm
物鏡倍率 4X 10X 40X
光斑尺寸 zui小30?m
機械分辨率 X：1?m， Y：1?m,， Z：0.04?m

測量指標
250?－2000? 2000?－20?m
準確度 ±1％ ±1％
重復(fù)性（3б） 0.75? 0.05％
穩(wěn)定性（3б） 2.4? 0.25％
測量時間 單點 < 3sec,， 5點 <30sec

*的光學(xué)測量技術(shù)

高精度、高重復(fù)性測量

穩(wěn)定,、使用壽命長且低成本的光源

高性能PDA

自動調(diào)焦

三維全自動機械平臺

貼近生產(chǎn)實際操作習(xí)慣的軟件系統(tǒng),，為測量提供快捷、方便易用的操作

數(shù)據(jù)的準確測量與實時評價


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