本系列產(chǎn)品是目前國內(nèi)外*的可對各種光滑光學(xué)元件和金屬表面疵病實現(xiàn)快速、自動化,、微米量級分辨率檢測的數(shù)字化設(shè)備,，能夠有效解決目視檢測效率低、準(zhǔn)確性差的難題,?？蓱?yīng)用于光學(xué)元件,、激光器諧振腔、微光元件,、光滑金屬,、硅片、液晶屏,、手機外殼,、微縮文字等各類元件表面疵病的檢測?？蓹z測表面疵病的類型包括各種劃痕,、麻點、污漬,、破邊等,。通過采用不同行程范圍的掃描裝置，可實現(xiàn)不同大小樣品的檢測,，被檢元件口徑zui大可達(dá)1000mm×600mm或更大,。本系統(tǒng)擁有多項國家發(fā)明。

系列產(chǎn)品主要技術(shù)指標(biāo)：

1）檢測樣品zui大口徑：（130mm×130mm）～（1000mm×600mm）,； 

2）瑕疵分辨率：優(yōu)于0.5um,； 

3）檢測的疵病幾何特征：各種劃痕、麻點,、破邊等,、文字缺損校驗；

4）被檢樣品可水平,、垂直放置掃描檢測,； 

5）軟件及結(jié)果輸出：配備“超光滑表面疵病數(shù)字化評價系統(tǒng)”軟件，可輸出包含表面瑕疵定位,、定量信息   的電子報表,；

6）照明及成像系統(tǒng)：特制的無盲點照明系統(tǒng)配備顯微散射暗場成像技術(shù)；

7) 評價標(biāo)準(zhǔn)：

  ?標(biāo)準(zhǔn)  ISO10110-7  
  ?美國軍標(biāo)  MIL-PRF-13830B
  ?同時可以根據(jù)客戶要求,，對不同的樣品（光學(xué)元件表面,、金屬元件表面）瑕疵（劃痕、麻點,、污漬等）的檢出要求進(jìn)行圖像處理軟件的研發(fā),；

 8）評價方法：采用獲得國家發(fā)明的定量評估方法；

 9）對有特殊潔凈要求的檢測配備有專業(yè)的凈化臺,；

 10）表面瑕疵質(zhì)量檢測應(yīng)用范圍：

 DHS-1 型（適合于中小口徑檢測）

 ?各種精密光學(xué)元件,、激光器諧振腔表面瑕疵；
 ?金屬元件表面瑕疵,；
 ?手機屏表面瑕疵,。

 DHM-2型,、DVL-3 型（可用于大口徑檢測）

 ?大口徑光學(xué)平板表面瑕疵,；
 ?大口徑硅片表面瑕疵,；
 ?各類液晶屏、顯示屏的表面瑕疵,。