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ULVAC愛發(fā)科 氣體分析儀
ULVAC愛發(fā)科 氣體分析儀
Qulee HGM2 是 ULVAC 新型殘余氣體分析儀“Model： Qulee”（支持以太網(wǎng)通信）的型號，具有革命性的簡單性和易用性,。
2.5 × 10 -6實(shí)現(xiàn)了A/PA（法拉第杯）的高靈敏度,，滿足了從各種研發(fā)應(yīng)用到真空設(shè)備過程管理的所有需求。
長處
測量質(zhì)量數(shù)范圍 1~200 amu
理想的研發(fā)應(yīng)用 作為
特性的最高靈敏度 2.5×10-6A/Pa
通信接口
兼容以太網(wǎng)通信
內(nèi)置顯示器設(shè)計(jì)無需 PC 即可
進(jìn)行測量
作簡單：一鍵功能（每個人都可以輕松,，無需復(fù)雜作）
支持烘烤 連接
傳感器單元時,，可進(jìn)行高達(dá) 250°C 的高溫烘烤（傳感器單元分離狀態(tài)：300°C）
配備脫氣功能，
電子沖擊脫附方式
維護(hù) 易于更換
燈絲,、離子源和二次電子倍增管
加強(qiáng)預(yù)防性維護(hù)功能 離子源和二次電子倍增管的
預(yù)防性維護(hù) 安裝
分析管的可追溯性功能
增強(qiáng)的泄漏測試功能可進(jìn)行氦
氣泄漏測試,、空氣泄漏測試和附著測試。
總壓測量
可測量總壓（電離真空計(jì)功能）
Qulee QCS 兼容
軟件作為標(biāo)準(zhǔn)配置提供（與 Windows 8/10/11 兼容）
一致性標(biāo)準(zhǔn)：
符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)
用
溫控脫附氣體分析等各種研發(fā)
超高真空和超高真空排氣系統(tǒng)的殘余氣體分析等,。
測定氣體中的痕量雜質(zhì)
與太陽能電池相關(guān)的研發(fā)
有機(jī)物分析
環(huán)境測量
規(guī)范
| 型 | HGM2-202 | HGM2-302 | ||
| 質(zhì)量分離法 | 四極桿質(zhì)譜儀 | |||
| 質(zhì)量數(shù)范圍 | 1 ~ 200 AMU | 1 ~ 300 阿姆 | ||
| 分辨率 | M/ ΔM=1M （10% P.H.） | |||
| 探測器 | 法拉第杯 | 二次電子倍增管 | 法拉第杯 | 二次電子倍增管 |
| 敏感性 | 2,5×10-6A/Pa @1.0mA | 4 A/Pa | 2.0×10-6A/Pa @1.0mA | 4 A/Pa |
| 最小感應(yīng)分壓 | 10-9PA 單元 | 10-13PA 單元 | 10-9PA 單元 | 10-13PA 單元 |
| 最大指定壓力 | 1×10-2帕 | |||
| 燈絲 | LR/Y2O32個 | |||
| 電離電壓 | 25 ~ 70 eV （默認(rèn)：70 eV） | |||
| 發(fā)射電流 | 0.1mA/0.5mA/1.0mA （默認(rèn)為 0.5mA） | |||
| DEGAS | 電子沖擊脫附法 330V,，5mA | |||
| 總壓力測量功能 | 是/ 10-2 ~ 10-5帕 | |||
| 一鍵功能 | 是 / He / H2O / N2 / O2 / 任何氣體 | |||
| 一鍵式泄漏檢查 | 和 | |||
| 電源電壓 | DC24V±10% 50W | |||
| 質(zhì)量 （傳感器單元/分析管） | 2.4 千克 / 0.81 千克 | |||
| 最高烘烤溫度 （連接傳感器單元時） | 250°C | |||
| 最高烘烤溫度 （拆下傳感器單元時） | 300°C | |||
| 工作溫度范圍 | 10 ~ 40°C | |||
| 工作濕度范圍 | 15 ~ 80% （但無冷凝） | |||
| IP 防護(hù)等級 | IP30 （傳感器單元） | |||
| 電源連接器 | MSTBV2.5 / 3-STF-5.08 | |||
| 通信接口 | 以太網(wǎng)規(guī)格 | |||
| 外部輸入/輸出連接器 | D-sub 15 針/M2.6 螺絲（可選） | |||
| 通信連接器 | RJ45 端口 | |||
| 外部輸入/輸出信號 | 2 個模擬輸入 （0-10V） ×、1 個外部聯(lián)鎖輸入（壓力保護(hù)）、×× 個錯誤輸出（FIL,、SEM,、RF 故障）、分壓器設(shè)定點(diǎn)輸出×2（異常,、警告）,、總電壓設(shè)定點(diǎn)輸出×1 | |||
| 軟件 | Qulee QCS Ver4.2 或更高版本（兼容 Windows 8/10/11） | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 電源連接器、LAN 電纜 （3m）,、軟件（安裝 CD）,、使用說明書 （CD） | |||
| 選項(xiàng)（請參閱 Qulee 選項(xiàng)目錄） | LAN 電纜（10、15,、20,、30、50 米）,、交流適配器,、USB-LAN 適配器、交換集線器（8 或 16 個端口）,、I/O 連接器,、護(hù)套加熱器、手提箱 | |||
| 法規(guī)遵從性 | CE | |||
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