ULVAC愛發(fā)科 氣體分析儀

ULVAC愛發(fā)科 氣體分析儀

愛發(fā)科的新型殘余氣體分析儀和過程氣體監(jiān)測(cè)儀 （RGA） 在高壓（小于 1 Pa）下具有高精度和高分辨率,，具有革命性的簡(jiǎn)單性和易用性。

這是過程監(jiān)控新標(biāo)準(zhǔn)的出現(xiàn),，它體現(xiàn)了各種生產(chǎn)線上設(shè)備工程師的聲音,。

它是濺射設(shè)備的過程控制（質(zhì)量改進(jìn)、產(chǎn)量提高）的理想選擇,。

長(zhǎng)處

濺射工藝的理想選擇

空氣泄漏監(jiān)測(cè)

殘余水分管理

過程監(jiān)控不需要差速排氣系統(tǒng)：可以測(cè)量 1 Pa 或更低,，可以節(jié)省空間。

能夠進(jìn)行高靈敏度泄漏測(cè)試 （CGM2-052）,，增強(qiáng)泄漏測(cè)試功能

可以進(jìn)行全壓測(cè)量

集成顯示設(shè)計(jì)：無(wú)需計(jì)算機(jī)即可進(jìn)行測(cè)量

易于使用 - 一鍵式功能：每個(gè)人都可以輕松,，無(wú)需復(fù)雜的作

標(biāo)配 Qulee QCS 軟件

符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)

用

用于濺射設(shè)備中的殘余氣體分析、過程監(jiān)測(cè)和雜質(zhì) （H2O） 控制

用于濺射設(shè)備的泄漏測(cè)試

規(guī)范

分辨率

M/△M=1M（10% P.H.）