ULVAC愛(ài)發(fā)科 氣體分析儀

ULVAC愛(ài)發(fā)科 氣體分析儀

革命性的簡(jiǎn)單性和易用性與 ULVAC 的新型殘余氣體分析儀 （RGA） 相結(jié)合,。 這是過(guò)程監(jiān)控新標(biāo)準(zhǔn)的出現(xiàn),，它體現(xiàn)了各種生產(chǎn)線上設(shè)備工程師的聲音,。 它非常適合真空沉積設(shè)備和各種真空爐的設(shè)備管理。

長(zhǎng)處

性價(jià)比優(yōu)異的通用規(guī)格

測(cè)量質(zhì)量數(shù)范圍 1~100 amu

集成顯示設(shè)計(jì)：無(wú)需計(jì)算機(jī)即可進(jìn)行測(cè)量

易于使用： 一鍵功能： 對(duì)每個(gè)人都很容易,。 無(wú)需并發(fā)癥

加強(qiáng)泄漏檢測(cè)功能

可以進(jìn)行全壓測(cè)量

標(biāo)配 Qulee QCS 軟件

符合 CE 標(biāo)準(zhǔn)

用

真空沉積設(shè)備和濺射設(shè)備等沉積設(shè)備的殘余氣體分析

高真空排氣系統(tǒng)的殘余氣體分析

冷凍干燥機(jī)中的殘余氣體分析

用于研發(fā)的各種氣體分析

規(guī)范

分辨率：M/△M=1M（10% P.H.）