EBARA荏原計(jì)測(cè)熱賣ESA70WN(-D)干式真空泵
2025-02-22
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EBARA荏原計(jì)測(cè)熱賣ESA70WN(-D)干式真空泵
EBARA荏原計(jì)測(cè)熱賣ESA70WN(-D)干式真空泵
可排氣氫氣等輕質(zhì)氣體的干式真空泵/大室高速排氣
產(chǎn)品介紹
ESA型有適合排出氫氣等輕質(zhì)氣體的排量1,400L/min～10,000L/min的型號(hào),，以及適合排氣的20,000L/min～80,000L/min的排量型號(hào),。適合大型腔體的高速排氣,。 10,000L/min 或更低型號(hào)適用于輕質(zhì)氣體排氣,，設(shè)計(jì)緊湊,，并提供耐腐蝕材料選項(xiàng)，非常適合 MO-CVD 等高流量輕質(zhì)氣體排氣應(yīng)用,。大型機(jī)型在大排量的情況下仍能實(shí)現(xiàn)安靜的噪音和低振動(dòng),，并且還可以選擇有機(jī)溶劑排氣，使其成為液晶濺射設(shè)備,、真空干燥工藝,、大型負(fù)載鎖等的理想選擇。
荏原株式會(huì)社（以下簡(jiǎn)稱“荏原”）精機(jī)電子公司藤澤工廠今年5月干式真空泵累計(jì)出貨量達(dá)到15萬(wàn)臺(tái),。這是自1986年第一臺(tái)機(jī)器發(fā)貨以來,，時(shí)隔32年取得的成就。
直到 20 世紀(jì) 80 年代,，油旋轉(zhuǎn)泵一直是半導(dǎo)體制造工藝中使用的主流真空泵,，但隨著對(duì)更清潔的真空環(huán)境的需求隨著集成度的提高而增加，我們應(yīng)用了我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力——旋轉(zhuǎn)機(jī)械技術(shù),，我們已經(jīng)將干式真空商業(yè)化,。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產(chǎn)生潔凈的真空,，而且采用非接觸式密封結(jié)構(gòu),，減少了維護(hù)頻率。利用這些功能,，應(yīng)用目前已從半導(dǎo)體和顯示器制造擴(kuò)展到太陽(yáng)能電池,、LED、鋰離子二次電池和各種分析設(shè)備等廣泛的行業(yè),。
根據(jù)中期管理計(jì)劃（E-Plan2019）的措施,，荏原將在2019年之前啟動(dòng)生產(chǎn)效率大幅提高的干式真空泵全自動(dòng)化工廠，深化與海外生產(chǎn)基地的合作,，并繼續(xù)響應(yīng)半導(dǎo)體市場(chǎng)的穩(wěn)定需求和各領(lǐng)域客戶的要求,。
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