EBARA荏原EV-S型節(jié)省空間用干式真空泵

EBARA荏原EV-S型節(jié)省空間用干式真空泵

產(chǎn)品介紹

荏原株式會社（以下簡稱“荏原”）精機電子公司藤澤工廠今年5月干式真空泵累計出貨量達到15萬臺,。這是自1986年第一臺機器發(fā)貨以來，時隔32年取得的成就,。

直到 20 世紀 80 年代,，油旋轉(zhuǎn)泵一直是半導體制造工藝中使用的主流真空泵，但隨著對更清潔的真空環(huán)境的需求隨著集成度的提高而增加,，我們應用了我們的核心競爭力——旋轉(zhuǎn)機械技術(shù),，我們已經(jīng)將干式真空商業(yè)化。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵,。我們的干式真空泵不僅能產(chǎn)生潔凈的真空,，而且采用非接觸式密封結(jié)構(gòu),，減少了維護頻率。利用這些功能,，應用目前已從半導體和顯示器制造擴展到太陽能電池,、LED、鋰離子二次電池和各種分析設備等廣泛的行業(yè),。

根據(jù)中期管理計劃（E-Plan2019）的措施,，荏原將在2019年之前啟動生產(chǎn)效率大幅提高的干式真空泵全自動化工廠，深化與海外生產(chǎn)基地的合作,，并繼續(xù)響應半導體市場的穩(wěn)定需求和各領域客戶的要求,。

便攜式EV-PA型等小型節(jié)能風冷式、水冷式干式真空泵,、實現(xiàn)更高流量的廢氣處理裝置,、實現(xiàn)半導體超微細制造的CMP裝置、Fan-out等我們將展示對封裝技術(shù)至關(guān)重要的電鍍設備,，以及消除導致良率下降的晶圓邊緣缺陷的斜角拋光設備,。