熱銷(xiāo)EBARA荏原耐腐蝕用真空泵EV-S200P/N

熱銷(xiāo)EBARA荏原耐腐蝕用真空泵EV-S200P/N

產(chǎn)品介紹

荏原株式會(huì)社（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“荏原”）精機(jī)電子公司藤澤工廠(chǎng)今年5月干式真空泵累計(jì)出貨量達(dá)到15萬(wàn)臺(tái),。這是自1986年第一臺(tái)機(jī)器發(fā)貨以來(lái),，時(shí)隔32年取得的成就。

直到 20 世紀(jì) 80 年代,，油旋轉(zhuǎn)泵一直是半導(dǎo)體制造工藝中使用的主流真空泵,，但隨著對(duì)更清潔的真空環(huán)境的需求隨著集成度的提高而增加，我們應(yīng)用了我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力——旋轉(zhuǎn)機(jī)械技術(shù),，我們已經(jīng)將干式真空商業(yè)化,。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產(chǎn)生潔凈的真空,，而且采用非接觸式密封結(jié)構(gòu),，減少了維護(hù)頻率,。利用這些功能,，應(yīng)用目前已從半導(dǎo)體和顯示器制造擴(kuò)展到太陽(yáng)能電池,、LED、鋰離子二次電池和各種分析設(shè)備等廣泛的行業(yè),。

根據(jù)中期管理計(jì)劃（E-Plan2019）的措施,，荏原將在2019年之前啟動(dòng)生產(chǎn)效率大幅提高的干式真空泵全自動(dòng)化工廠(chǎng)，深化與海外生產(chǎn)基地的合作,，并繼續(xù)響應(yīng)半導(dǎo)體市場(chǎng)的穩(wěn)定需求和各領(lǐng)域客戶(hù)的要求,。

便攜式EV-PA型等小型節(jié)能風(fēng)冷式、水冷式干式真空泵,、實(shí)現(xiàn)更高流量的廢氣處理裝置,、實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體超微細(xì)制造的CMP裝置、Fan-out等我們將展示對(duì)封裝技術(shù)至關(guān)重要的電鍍?cè)O(shè)備,，以及消除導(dǎo)致良率下降的晶圓邊緣缺陷的斜角拋光設(shè)備,。